薄厚膜混合集成电路的失效分析.docVIP

陕西国防工业职业技术学院 项目报告 课程名称 薄厚膜电路工艺 项目名称 薄膜混合集成电路的失效分析 班 级 微电3101班 姓名及学号 罗鹏 33# 指导教师 张喜凤 许燕 2012年6月15日目记录卡 编号（001） 项目名称 薄膜混合集成电路的失效分析 项目内容 1. 失效和失效分析的概念 2. 失效分析的方法 3. 失效分析程序 4. 厚膜混合集成电路失效模式和失效机理 4.1 厚膜电阻器的失效 4.2 片式电容器的失效 4.3 衬底 (已成膜基片 )的失效 5. 薄膜混合集成电路失效模式和失效机理 5.1 薄膜电容器的失效 5.2 薄膜电阻器的失效 5.3 封装的失效 6. 分析技术 项目实施过程中遇到的困难 在此次项目中，遇到的困难就是时间有限， 解决问题的 过程及方法 自己从网上搜集资料，并从老师给的资料中寻找，从而使论文及时完成。。 总结与反思 通过本次项目，让我知道了自己还有很多地方不足： 1 遇到问题后要主动出击，不要坐以待毙； 2 做事情的时候一定要小心，细心； 3 其实资料就在眼前，关键是能不能发现。 薄厚膜混合集成电路的失效分析 罗鹏 陕西国防工业职业技术学院 电子信息学院 微电3101班 摘要：本文主要讲了失效分析的方法，以及失效分析的程序，并且详细的阐述了薄厚膜混合集成电路失效模式和失效机理,最后简单写了失效分析的分析技术。 Abstract: this article is mainly about failure analysis method, and failure analysis of the program, and detail the bao hou film IC failure mode and mixed failure mechanism and finally write simple failure analysis analysis technology. 关键词：混合集成电路、失效分析、失效机理、物理分析 Keywords:hybrid integrated circuit ，failure analysis ，failure mechanism， physical analysis 引言： 失效分析是产品可靠性保障技术之一，失效分析结论是可靠性设计的一个至关重要的依据。通过失效分析，可以诊断产品失效模式及机理，以机理为指引，找出与产品失效或退化直接相关的原因，从而对产品的设计、材料、工艺实施改进，以提高产品的可靠性，这就是失效分析在可靠性中的作用。因此，消除或控制混合集成电路的主要失效模式是其可靠性设计的重要技术之一。 Preface: Failure analysis is one of the products reliability security technology, failure analysis conclusion of the reliability design is one of the most important basis. Through the failure analysis, can be diagnosed product failure mode and mechanism for mechanism as a guide, find out and product failure or degradation is directly related to the reasons, and the product design, material, process improvement, in order to improve the reliability of the product, this is the failure analysis in the reliability in the role. Therefore, eliminate or control circuit of the hybrid integrated main failure mode is the reliability design of the important technical one. 1失效和失效分析 产品丧失规定的功能称为失效。 判断失效的模式,查找失效原因和机理,提出预防再失效的对策的技术活动和管理活动称为失效分析。 2失效分析的方法 在失效分析研究中有4种基本方法：电气、化