毕业论文（设计）多波段滤光膜的设计与制备.docVIP

摘 要 随着红外光通信技术的发展，光学薄膜在提升光学器件性能方面扮演着越来越重要的角色。本课题主要研制以K9玻璃为基底，实现在波长532nm处，T95%；波长808nm处，T0.5%；波长1064nm处，T95%的多波段滤光膜，同时对薄膜材料的光学性能进行研究和分析，根据薄膜设计理论，借助TFC膜系软件进行膜系设计。通过对初始膜系膜层厚度的优化，获得了较为理想的膜系结构。采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术制备薄膜，对镀膜过程中影响膜层性能的工艺因素进行了分析、研究，并给出了最终设计曲线及实测曲线。 关键词：光学薄膜 多波段滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积 Abstract Along with the development of infrared communication technology,optical thin film in ascension optical device performance plays an increasingly heavy role.This article is developed with a base K9 and achieves wavelength at 532nm,T95%; wavelength at 808nm and T5% wavelength at 1064nm,T95% multi-band filt