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透明导电氧化物AZO薄膜制备和性能探究 　　摘要：利用直流磁控溅射法，采用氧化锌铝（98%ZnO+2%Al2O3）为靶材，在普通载玻片上制备了AZO （ Z n O：Al）薄膜。采用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析，采用分光光度计和四探针法对薄膜的光电学性能进行了测试。结果表明：控制好工艺参数可以制备出致密、均匀并具有良好的光电性能的AZO薄膜；并计算了带隙能量和折射率。 关键词：磁控溅射；电阻率；透过率；AZO；薄膜 中图分类号：TP391 文献标识码：A 文章编号：1009-3044（2014）09-2107-03 1 概述 透明导电氧化物（TCO）薄膜在液晶显示器的透明电极、太阳能电池的窗电极、输入画面用开关、应用于汽车、电车、飞机挡风玻璃、红外线反射膜等诸多领域获得了广泛的应用和研究 [1-3]。作为透明导电氧化物（TCO）薄膜的一种，AZO薄膜即掺铝氧化锌具有热稳定性好，无毒性，原材料Zn和Al储量丰富、价格低廉，更易于刻蚀，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好的优点.当前AZO 薄膜的制备方法，主要包括化学气相沉积（CVD）[4]、磁控溅射法（MS）[5]、脉冲激光沉积（PLD）、分子束外延（MBE）、溶胶-凝胶（ Sol- Gel）等。其中磁控溅射方法以其沉积速率高、成膜质量好、与衬底附着力强、制备成本低而适宜大面积生产