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扫描电子显微镜结构设计 第１章　电子光学基础 1.1 电子波与电磁透镜 1.1.1 光学显微镜的分辨率 光学透镜成像的情况见下图。表示样品上的两个物点S１S２经过物镜在像平面形成像s1’、s2’的光路。 由于衍射效应的作用,点光源在像平面上得到的并不是一个点,而是一个中心最亮周围带有明暗相间同心圆的圆斑,即Airy斑。即S1、S2成像后在像平面上会产生两个Airy斑S1’、S2’ Airy斑的光强分布特征： 84％集中在中央亮斑上，其余由内向外顺次递减，分散在第1、第2 ??。一般将第一暗环半径定为Airy斑的半径。 如果两个物点靠近，相应的两个Airy斑也逐渐重叠．当斑中心间距等于Airy 斑半径时，强度峰谷值相差19，人眼可以分辨，即Rayleigh准则 Rayleigh准则：? 当一点光源衍射图样的中央最亮处刚好和另一个点的第一个最暗处重合时，两衍射斑中心强度约为中央的80％，人眼刚可以分辨，这一条件称为Rayleigh准则。此时的光点距离?r0称为分辨率，可表达如下： 式中，?－光的波长；n－折射系数；?－孔径半角；n sin?－数值孔径。 上式表明，分辨率的最小距离与波长成正比。 对玻璃透镜，取最大孔径半角? = 70-75°，在物方介质为油的情况下，n ? 1.5，则其数值孔径n sin? ? 1.25-1.35，上式可简化为： 可见，半波长是光学玻璃透镜可分辨本领的理