薄膜中的相界扩散及晶化行为研究-无机材料学报.pdfVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 飞 入工 ’ 薄膜 中的相 界扩散 及 晶化 行 为研 究 翟 继 卫 张 良莹 姚 熹 西 安 交 通 大 学材 料 研 究所 西 安 摘 要 一 本 文研 究 了溶胶 凝胶 法制 备 复合薄膜 的晶化 行 为 以及 复合 薄膜 与过 渡层 的 相 界扩 散 采 用 一 叮 衍射分 析 了 薄膜 中 的析 晶特 征 , 研 究表 明 , 随 热 处理温度 的升高 , 薄膜 的结构 由非 晶转变 为在 玻璃 网络 中析 出的锐 钦矿 相 , 再 到 锐 钦 矿 和 金 红石 二相共存 , 最后 转变 为金 红 石 相 , 并 伴随有磷石 英和方 石 英 的析 出, 且其 晶粒尺 寸 也在逐 渐 增大 分 析 给 出 了过 渡 层 的气 孔 率对 复合膜 中 的扩散 能 力 的影 响 以及 复合 膜 与过 渡 层 之 间碳 的分 布 及 进 一 步揭 示 了薄膜表 面 存 在亚 微米 不均 匀 区域 , 在 此 区域 中碳 的含量较 高 在 氧气 中, 提 高热 处理 温 度 , 可 以 降低 碳 的含 量 分关 类 词 一 , , , , 晶 键 号 溶胶 凝胶 薄膜 扩散 化 引言 、 以及 它 们 的复合薄膜在光 学 薄膜及 微 电子 学等领 域 得 到 了广 泛 的应 用 尤 , 其对 复 合薄膜 由于其 折 射率可 以在 一个较 宽 的范 围 内调节 、 因此 , 能够 很方便 地 用 来制 备光 波 导 薄膜 及 梯度折 射率薄膜 等 其 梯 度 折射 率 薄膜 的 制 备 就 是 利 用 其 相 界 的扩 散 来 交 替地 沉 积 、 或这 二 种 组 份 的复合 薄膜 , 其 厚度 的 比例 取 决 于 它 们 的组 成 成份 及 制 备工 艺 制 备 的方 法 主