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3-5 .扫描探针显微镜 —Scanning Probe Microscope, SPM 一、简介： 扫描探针显微镜是一大类仪器的总称。 原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM) 扫描隧道显微镜(Scanning Tunning Microscope,STM) 磁力显微镜(Magnetic Force Microscope,MFM) 化学力显微镜(Chemical Force Microscope,CFM) 倾向力显微镜(Lateral Force Microscope,LFM) 摩擦力显微镜(Friction Force Microscope,FFM) 2.概念： 3.分辨率：原子水平（纵向可达0.1nm，X,Y方向可达2nm） 以激光为光源，探针相对于样品作扫描运动，通过 检测探针与样品之间的作用力而使样品表面形态成 像的一类显微镜。 1.基本 类型： * 北京东方科泰科技发展公司 4.应用： 1）样品要求： 材料不需处理 可实体观察、 成像。 2）应用： 溶液（生理环境） 中的生物样品 表面成像。 优点：不需要真空 不需要高压 * 二、扫描探针显微镜的基本结构 1.扫描装置：压电管，精度 　　控制在百分之几纳米内。 2.探针：固定在微悬臂的一端， 　微悬