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斯威尔 中国 斯威尔 中国 源自德国 引领世界－微波测量专家 斯威尔 * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 SWR 产品 在多晶硅行业中的应用 张 雄 2008-08 * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 多晶硅工业生产的原理（西门子法） 氯 化： 还 原： Si + 3HCl = SiHCl3 + H2 + Q SiHCl3 + H2 = Si + 3HCl - Q * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 多晶硅工艺流程图（西门子法) SiHCl3合成 SiHCl3提纯 SiHCl3还原 多晶硅 SiCl4 氢化分离 反应尾气干法 回收与分离 图1 西门子法生产工艺流程图 工业硅 冶金级 SolidFlow HCl （补充） H2（补充） H2（补充） Si SiHCl3 SiCl4 SiHCl3 H2 SiCl4 SiHCl3、H2 SiCl4、HCl HCl * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 多晶硅工业生产的原理（粒状多晶硅） 硅烷分解： H2SiF6 = SiF4 + 2H2 SiH4 = Si + 2H2 原料制备： Na + Al + 2H2 = NaAlH4 硅烷合成： NaAlH4 + SiF4 = NaAlF4 +SiH4 * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 多晶硅工艺流程图(粒状多晶硅） 图2 粒状多晶硅生产工艺流程图 NaAlH4 合成 SiH4生成 溶剂中 SiH4提纯 硅烷化 溶剂回收与 NaAlF4分离 SiH4分解制取多晶硅 H2 Na Al SolidFlow NaAlH4 溶剂中 粗制SiH4 NaAlF4 合格多晶硅 脱氢硅 脱氢 干燥 （粒状） （粒状） SolidFlow SiF4 制取 SiH4 溶剂 溶 剂 浆状 NaAlF4 H2 细硅粉、H2 SolidFlow * 斯威尔 中国 SolidFlow 在多晶硅行业中的应用 SolidFlow稳定硅粉的输送流量 * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 SolidFlow 测量氯化铵粉末流量（自由下落） 50℃ 8T/h 安装在回转阀后,过滤器前 均衡输送并且进行流水控制 BASF AG, Ludwigshafen, Germany SolidFlow 应用实例 * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 SolidFlow 测量石灰粉末流量（气动） 环境温度 5T/h 安装在回转阀后 均衡输送并且进行流水控制 Bayer AG, Leverkusen, Germany SolidFlow 应用实例 * 斯威尔 中国 斯威尔 中国 SolidFlow 测量钛铁矿粉末流量 环境温度 2-5T/h 安装在螺旋给料机后，酸解槽之前 均衡输送并且进行流水控制 山东东佳集团金虹钛白粉厂 SolidFlow 应用实例 * 斯威尔 中国 ProSens 应用实例 ProSens用于煤气的粉尘测量 * 斯威尔 中国 ProSens用于烟气排放的粉尘测量 ProSens 应用实例 *