双直线电机驱动H型运动平台同步控制研究.pdf

· 电气与 自动化 · 罗品奎，等 ·双直线电机驱动的H型运动平台同步控制研究 双直线 电机驱动的H型运动平台同步控制研究 罗品奎 ，金建新，李小平 (华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室，湖北 武汉430074) 摘 要：介绍了双直线电机驱动的H型运动平 台同步控制特点，使用SimMechanics建立H型 运动平台动力学模型，使用模糊逻辑控制算法消除机械耦合的影响，提高双直线电机的同步运 动精度 。 关键词 ：直线电机 ；H型运动平 台；同步控制 中图分类号：TM359．4 文献标志码 ：A 文章编号：1671—5276(2013)06—0158—04 ResearchonDualLinearMotorSynchronousControlinH-typeStage LUOPin．kui．JINJian—xin．LIXiao．ping (StateKeyLaboratoryofDigitalManufacturingEquipmentandTechnology，Huazhong UniversityofScienceandTechnology，Wuhan430074，China) Abstract：ThispaperintroducesthecharacteristicsofsynchronouscontrolinDual-sideLinearMotorH—typestage，buildsitskinetic model，usingSimMechanicsandappliesthefuzzylogicto duallinearmotorpositionservoaxestocounteractthe influenceofme· chanicalcouplingandreducethedual-driverdisplacementerror． Keywords：linearmotor；H-typestage；synchronizationcontrol 动平台可以提供强大的推力，可以有效避免单边驱动带来 0 引言 的运动滞后和机械振荡 ¨ ，其结构如图 1所示。平台基 座采用结构刚度大、平整度高的花岗岩材料；横梁采用Tl 直线电机驱动的H型工作台因其具有大的行程范围 程陶瓷等轻质、高刚度材料 ，两端分别与两个相互平行的 和高的定位精度而被广泛应用于半导体光刻、微型机械等 直线电机的动子连接，实现 方向的双边同步驱动；Y向 领域。在实际应用过程中，由于H型运动平 台的组件不 直线电机的定子安装在横梁上 ，动子与滑块 固接，实现Y 是对称结构，且在制造与安装过程中存在误差，以及工作 方 向的运动。 过程中存在的不确定性扰动等因素的影响，导致即使两个 完全相同的直线电机和伺服系统，最终也不能保证横梁两 端的同步运动。机械强耦合将导致横梁扭转 ，无法保证运 动精度，甚至使结构或驱动元件受到损坏”J，因此 ，实现 质心驱动的高精度同步控制是此类平台的控制重点和 难点 。 针对H型双边驱动运动平台建立相应动力学模型， 设计双边同步控制系统，使用两台相同的直线电机以保证 系统具有高速动态同步响应能力，使用并联控制与模糊逻 辑反馈相结合的方法来消除机械耦合的影响，力求减小双 边同步控制的误差。 图1 H型运动平台结构 1 H型运动平台结构及建模 1 ． 2 运动平台建模 建立精确的H型双边驱动机构运动模型是研究同步 1．1 运动平台结构简介