试验椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率.PDF

实验六、椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率 一 实验目的 1、了解椭圆偏振法的基本原理; 2 、学会用椭圆偏振法测量纳米级薄膜的厚度和折射率. 二 实验仪器 TPY-1型椭圆偏振测厚仪,计算机 三 实验原理： 椭圆偏振测厚技术是一种测量纳米级薄膜厚度和薄膜折射率的先进技术，同时也是研究 固体表面特性的重要工具。椭圆偏振法测量的基本思路是，起偏器产生的线偏振光经取向一 定的 波片后成为特殊的椭圆偏振光，把它投射到待测样品表面时，只要起偏器取适当的 1 4 透光方向，被待测样品表面反射出来的将是线偏振光。根据偏振光在反射前后的偏振状态变 化 （包括振幅和相位的变化），便可以确定样品表面的许多光学特性。 设待测样品是均匀涂镀在衬底上的厚度为 、折射率为 的透明各向同性的膜层。光的 d n 电矢量分解为两个分量，即在入射面内的p分量及垂直于入射面的s分量。入射光在薄膜两 个界面上会有多次的反射和折射，，总反射光束将是许多反射光束干涉的结果。利用多光束干 涉的理论，得p分量和s分量的总反射系数 r r exp(2i) r r exp(2i) R 1p 2p , R 1s 2s , （1） p 1r r exp(2i) s 1r r exp(2i) 1p 2p 1s 2s 其中 4 2 dncos2 （2）  是相邻两反射光束之间的相位差，而 为光在真空中的波长。光束在反射前后的偏振状  态的变化可以用总反射系数比 来表征。在椭圆偏振法中，用椭偏参量 和 ；来描 R R   p s 述反射系数比，其定义为： tan exp(i) R R （3） p s 在入射波波长，入射角，环境介质和衬底的折射率确定的条件下， 和 只是薄膜厚度和折   射率的函数，只要测量出 和 ，原则上应能解出 和 。然而，从上述各式中却无法解析   d n 出d (,) 和n (,) 的具体形式。因此，只能先按以上各式用电子计算机计算出在入 射波波长，入射角，环境介质和衬底的折射率一定的条件下(, ) ~ (d, n) 的关系图表，待 测出某一薄膜的 和 后再从图表上查出相应的 和 的值。   d n 测量样品的 和 的方法主要有光度法和消光法。我们主要介绍用椭偏消光法确定    和 的基本原理。设入射光束和反射光束电矢量的p 分量和s 分量分别为 ，则  E ,E ,