小尺度效应对纳米开关吸合行为影响.pdfVIP

学兔兔 小 尺 度 效 应 对 纳 米 开 关 吸 台行 为 的影 响 口 陈 博 口 谭 亮 兰州理工大学 机 电工程学院 兰州 730050 摘 要 ：基于传统的欧拉伯努利梁模型和等效非局部理论 ，研究悬臂纳米开关和固支纳米开关在外 加 电压的情况下，小尺度效应对其吸合行为的影响，采用能量变分原理和数值分析的方法，建立纳米开 关的数学物理模型，推导并求解其控制方程 ，详细研究了小尺度效应对两种纳米开关弯曲刚度的影响。 结果表明：小尺度效应使 固支纳米开关的弯曲刚度变小．悬臂纳米开关的弯曲刚度变大 关键词 ：小尺度效应 悬臂纳米开关 固支纳米开关 等效非局部理论 弯 曲刚度 中图分类号 ：TH123 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000—4998(2015110—0043—04 近年 来 随着 纳机 电技 术 的发展 ．作 为 纳机 电系 统 典 的连 续介 质力 学并 不适 用 于纳米 级 的纳机 电系统元 基 础 元器 件 的纳米 开关 ，受 到 了众 多研究 学 者 的青 睐 。 器 件 的分析 。但 是 由于纳 米级 别 的对照 试验 和分 子 动 纳米 开关 主要 有 两种类 型 ，分 别是 悬臂 纳米 开关 和 固 力 学模 拟 不仅 实施 起 来 比较 困难 ．而 且成 本 昂贵E73，所 支纳 米开 关 。这种 纳米 开关 是一 种类 梁 结构 ，它 可 以看 以一些研 究 学者 建立 了若 干非 经典 的连 续理 论 。如非 作是 由 中间被 电解 质 隔开 的可 移 动臂 和 固定臂 组 成 ， 局 部 弹性理 论 Ⅲ8和 偶应 力理 论 ，来 解释 纳结 构 的尺 寸 当在 可 移动臂 和 固定 臂之 间施 加外 加 电压 时 ，静 电力 依 赖行 为 。BeniYT等_1叫利 用 修正 的偶应 力 理论 和 修 会使 可移 动臂 和 固定 臂之 间发 生 吸附行 为 _1]。 正 的 Adomian分 解 方法 ，研 究 了纳 机 电系统 中吸 附行 在宏 观 理论 下 ，53子 间 的作 用 力 ，如 范 德华力 和 克 为 的尺寸依 赖 特性 ，他们 的研 究结 果显 示 ，小 尺度 效应 什米 尔力 等 ，这些 微小 力 都是 忽略 不计 的 。但 当纳米 开 使 纳米 梁 的临界 吸 附 电压 增大 了。为 了更 为客观 地反 关 的尺 寸和 分子 处 于 同一 数量 级 时 ，小 尺 度效应 对 于 映小 尺度 效 应 对 纳机 电器 件 的影 响 ．YangJ等 [1l基 于 其机 械性 能 的影 响就 显得 非 常重要 _2_。曹 共柏 等 采 用 非 局部 理论 对 受外加 电压和分 子 问作 用力共 同作 用 的 经典 的分 子 动力 学方 法 。分析 了两端 固支 的纳米 梁 的 纳 米 开关 的吸 附行 为进行 了研 究 ．他们 提 出 了一 个 线 力学 行 为特 征 ，结果 显示 发 热是 纳米梁 耗 散机制 的重 性 分 布 载 荷 (LDL)模 型 ，以 获得 悬 臂 和 固支 纳米 开关 要方 式 。即谐 振 能量转 化 为梁 中原 子 的热运 动动 能 。许 封 闭形 式 的解决 方案 ，同时还发 现 ．小尺 度效 应使 悬臂 科 峰等 提 出 了几 种 基 于 MEMS(微 机 电系统 )各 向异 纳 米 开关 的吸合 电压 增 大 了 ，纳 米开关 固支纳米 开关 性腐 蚀 技 术 的纳 米 梁制 作 方 法 ．通过 利 用 MEMS技 术 的拉 入 电压 减 小 了 。 PengJS等 l『用 一个 适 合 边 界 中材 料 与工 艺 的特性 实 现单 晶硅 纳米 梁 的制作 。徐 临 条 件 的线 性 负 载