大族扩散炉PM操作说明.docVIP

大族扩散炉PM操作指导书 文件编号 版本/版次 A/0 工位名称 大族扩散 工时（秒） 　N/A 型号 N/A NO 作业项目 作业内容 1 目的 为了让员工更熟练、安全、有效的掌握扩散炉PM 2 范围 所有扩散炉维护员工 3 定义 大族扩散炉PM 操作指导书 4 职责 所有扩散炉PM操作员工熟读并掌握该扩散炉PM步骤。 5 安全 5.1所有的维护项目必须由培训合格的设备技术人员或设备工程师或厂家维修人员完成。 5.2在开启电源时，必须首先确定没人在设备上工作或维修。 5.3按照相关的安全要求处理与工艺环境接触的部件,材料。使用适当的防护器材,如手套,眼镜,面部护罩. 5.4注意紧急关机按钮的位置，最近的消防通道和安全出口的位置。 5.5定期检查本区域中使用的危险品，包括：H2SO4，HF，HCL，NAHO等。 5.6在进行PM前，必须熟悉有关的安全技术要求。 6 PM种类 6.1 周维护：（周维护项目见周维护表单） 6.1.1完成周维护表单上项目。 6.1.2 填写周维护表单。 6.2 月维护：（月维护项目见月维护表单） 6.2.1 完成周维护内容。 6.2. 2 完成月维护表单上项目。 6.2.3 填写月维护表单。 7 PM前准备工作 7.1 工具：内六角扳手、活络扳手、螺丝刀（十字和一字）。 7.2 材料：酒精、净化布、水。 7.3