传感器原理及应用姜香菊电子课件第五章节压电式传感器.pptVIP

一 压电传感器的结构 在压电传感器中,压电片一般不止一片,常常采用两片（或两片以上）粘结在一起。图为两种“双压电晶片”结构原理图。 在制作、使用压电传感器时,要使压电片有一定的预应力。这是因为压电片在加工时即使研磨得很好,也难保证接触面的绝对平坦。如果没有足够的压力,就不能保证全面的均匀接触,因此,要事先给以预应力。但这个预应力不能太大,否则将影响压电传感器的灵敏度。 压电传感器的灵敏度在出厂时作了标定,但随着使用时间的增加会有些变化,其主要原因是压电片性能有了变化。试验表明,压电陶瓷的压电常数随着使用时间的增加而减小。因此,为了保证传感器的测量精度,最好每隔半年进行一次灵敏度校正。石英晶体的长期稳定性很好,灵敏度基本上不变化,无需经常校正。 根据逆压电效应，晶体在X轴方向将产生伸缩，即 或用应变表示，则 式中 EX——X轴方向上的电场强度。 在X轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向带正电；如果作用力FX改为拉力，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反，见图(a)、(b)。 FX FX + + + + － － － － － － － － + + + + (a) (b) X X Δt=d11UX 如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其电荷仍在与X轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、（d），此时电荷的大小为 + + + + + + + + － － － － － － － － (c) (d) FY FY X X 式中 d12——石英晶体在Y轴方向受力时的压电系数。 根据石英晶体轴对称条件：d11=－d12，则上式为 式中 t——晶片厚度。 则其极间电压为 尚辅网 / 压电式传感器是典型的有源传感器。当压电材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而可以实现非电量测量。压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽等特点，因此在各种动态力、机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 第5章? 压电式传感器? 5.1压电式传感器的工作原理及等效电路5.2压电式传感器的结构及特性 5.3压电式传感器的转换电路 5.4压电式传感器的应用 正压电效应（顺压电效应）：当沿着一定方向对某些电介质施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 逆压电效应（电致伸缩效应）：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 5.1 压电式传感器的工作原理及等效电路 （一）工作原理 压电材料可以分为两大类: 压电晶体和压电陶瓷 。  压电材料的主要特性参数有:  （1） 压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数, 它直接关系到压电输出的灵敏度。  （2） 弹性常数：压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。  （3） 介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件, 其固有电容与介电常数有关; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。  （4） 机械耦合系数：在压电效应中, 其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5） 电阻压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏, 从而改善压电传感器的低频特性。 （6） 居里点压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。 1、石英晶体压电效应 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，在晶体学中它可用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴Z－Z称为光轴；经过正六面体棱线，并垂直于光轴的X－X轴称为电轴；与X－X轴和Z－Z轴同时垂直的Y－Y轴（垂直于正六面体的棱面）称为机械轴。 Z X Y (a) (b) 石英晶体 (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 Z Y X 通常把沿电轴X－X方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，而把沿机械轴Y－Y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴Z－Z方向受力则不产生压电效应。 ? 压电电荷符号与受力方向 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在xoy平面投影，如图(a)。为讨论方便，将这些硅、氧离子等