真空低温技术与设备.ppt

《真空技术》 一. 真空技术概况 （巴德纯） 二. 真空工程理论基础 （张世伟） 三. 干式真空泵原理与技术基础 （巴德纯） 四. 真空系统组成与设计基础 （刘坤） 五. 真空获得设备原理与技术基础 （张以忱） 六. 真空测量技术基础 （刘玉岱） 七.真空镀膜技术基础 （张以忱） 八. 质谱原理与真空检漏 （刘玉岱） 九. 真空冶金技术基础 （王晓冬） 十. 真空与低温技术及设备 （徐成海） 1.绪论 1.1真空技术与低温技术的关系 真空技术和低温技术都诞生于17世纪，完善于19世纪，应用发展于20世纪。到目前为止，真空技术已成为一门通用性很强的科学，在空间科学、原子能工业、电子科学、半导体、计算机、光学、食品、医药、冶金、化工、农业和轻工业等国民经济的各个领域都有相当程度的应用。真空技术在改造着世界。人类社会需要真空技术。低温技术也是一样，在空间科学、化工、农牧以及医药卫生等方面都有其独特的作用，在其他领域也有日益广泛的影响。没有真空技术就不可能获得超低温；没有低温技术就不能产生清洁的极高真空。低温技术的发展促进了真空科学；而真空技术的前进又带动着低温技术。已经形成了真空需要低温，低温离不开真空的局面。 真空科学按照传统的说法可包括真空物理、真空获得、真空测量、真空应用四大方面的内容。而这四方面内容