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2015年 8月 刘远等:基于计算机视觉技术的微小线尺寸测量系统设计 ·41·
视觉测量领域中光学三角法作为光学测量的基本方法之 最后利用数据处理控制系统精确计算出像点位移,完成厚度.
一 , 已得到广泛的应用。光学三角法根据入射光线与被测物体 微位移的检测。
表面法线的关系 ,又可分为直射式和斜射式。本课题根据需 光学系统是以光学三角法原理为设计理论基础 ,主要包
要 ,选用直射式光学三角法。 括光源、会聚透镜、成像透镜和光电转换器件 (CCDP/SD)。
在直射式光学三角法中,入射光垂直入射到被测表面,成 数据采集传输系统包括线阵 CCD 的驱动、线阵 CCD 数
像系统通过接收散射光成像 ,原理简图如图2所示。其中,1代 据的采集及采集数据的传输 3部分 ,系统设计以高速单片机
表激光二极管,2和 4表示会聚透镜和成像透镜,3表示被测 ATmega64为控制核心 ,利用单片机直接为线阵 CCD提供驱
表面 ,5表示 CCD光电耦合器件, 0和厶 分别为激光投射 动脉冲,控制线阵CCD专用AD/芯片MAX1101实现对线阵
直线和 CCD敏感面所在直线与成像透镜主光轴的夹角,a和 CCD输出信号的高速采集,通过USB接口实现采集数据的高
b分别为成像透镜主光轴上的轴上物距和轴上像距, 为像点 速传输。
位移 , 为物点位移。为保证成像质量 ,依据 Scheimpflug条 数据处理控制系统主要功能是利用 USB接 口与数据采
件,参数 0、 、a和b必须满足以下数据关系: 集传输系统保持通信 ,通过显示、存储等辅助功能提供采集控
制、数据传输和数据处理。
tan~p 0 (1)
则物点位移 与像点位移 的关系为 :
A-—— L (2) l 转换 单片机
bsinO±8sin(o+ ) ‘
CCD I ; 一一一一= 一一一
l垫型塑堡 l光学系统 显示控制功能lI数据处理
L… 一一 理
图3 系统组成简图
Fig.3 Schematicdiagram of system composition
3 测量系统硬件设计
图2 直射式光学三角法原理简图 本系统的硬件设计是以光学三角法原理为基础 ,核心元
Fig.2 Schematicdiagram oftheprincipleofdirectopti- 器件是光电转换器件。围绕光电转换器件,测量系统硬件需要
caltrianglemethod
实现线阵 CCD 驱动功能、线阵 CCD输出信号采集转换功能
2 测量系统总体设计 及采集结果传输功能等 ,这就需要相关的A/D采集芯片、数据
传输接口和控制单元等。根据设计要求及设计参数的要求 ,选
微小线尺寸测量系统分为光学系统、数据采集传输系统
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