应变式传感器N.ppt

Ch3 应变式传感器 §1 应变片的原理与结构 §1-1 导电材料的应变电阻效应（1） §1 应变片的原理与结构 §1-1 导电材料的应变电阻效应（2） §1 应变片的原理与结构 §1-2 应变片的类型与结构（1） §1 应变片的原理与结构 §1-2 应变片的类型与结构（2） §1 应变片的原理与结构 §1-2 应变片的类型与结构（3） §2 应变片的主要特性 §2 应变片的主要特性 §2-1 动态特性(1) §2 应变片的主要特性 §2-1 动态特性(2) §2-2 温度效应及补偿1. 温度效应 §2-2 温度效应及补偿1. 温度效应 §2-2 温度效应及补偿2. 温度补偿 §3 测量电路与测量系统 §3-1 应变电桥的转换特性1. 定义 §3-1 应变电桥的转换特性1. 定义 §3-1 应变电桥的转换特性1. 定义 §3-1 应变电桥的转换特性2.全对称应变电桥 §3-1 应变电桥的转换特性2.全对称应变电桥 §3-1 应变电桥的转换特性3. 转换误差 §3-1 应变电桥的转换特性4. 其它情形 §3 测量电路与测量系统 §3-2 交流应变仪1. 框图 §3-2 交流应变仪 2.移相器 §3-2 交流应变仪2.移相器 §3-2 交流应变仪 3. 相敏检波器 §3-2 交流应变仪3. 相敏检波器(2) §3-2 交流应变仪 4. 低通滤波器 §3-2 交流应变仪5. 工作波形(1) §3-2 交流应变仪5. 工作波形(2) §4 应变式传感器的应用1. 柱式力传感器 §4 应变式传感器的应用2. 梁式力传感器 §4 应变式传感器的应用3. 应变式加速度仪 §4 应变式传感器的应用4. 固态压阻器件(1) §4 应变式传感器的应用4. 固态压阻器件(2) §4 应变式传感器的应用5. 集成化压力传感器 弹性敏感元件 轴向应变片 圆周方向应变片 差动对 差动对 等截面弹性梁 应变片 基座 试件 弹性梁 Si膜片 0.635 Si膜片 * 应变 应变片 电阻变化 应变电桥 应变电阻效应 F F F F 泊松比 金属 半导体 压阻效应 各向异性 金属 半导体 结构尺寸 电阻率 1.8~4.8 50~80Km 金属箔式 薄条型 金属丝式 薄膜型 应变片 金属应变片 半导体应变片 根据应变电阻效应做成的测量应变的器件 敏 感 栅 基底 盖片 引线 粘结剂 b 栅长 栅宽b 金属丝式 金属箔式 半导体应变片 半导体 金属箔 引线 灵敏度 横向效应 机械滞后 应变极限 零点飘移与蠕变 温度特性 动态特性 实验: 中点应变 理论: 平均应变 相对误差 误差 限制 工 作 频 限 应变片 试件 o 测量系统要求 电阻温度效应 热胀冷缩效应 传感器 温度变化 电阻温度效应 热胀冷缩效应 电阻温度系数 （1）单丝自补偿 （2）双丝自补偿 （3）桥路补偿 优点：结构简单 缺点：只适用于特定参 数的试件 应变片 不平衡电桥 输出电压 放大、显示 未工作：平衡 工作： 不平衡 U A B 未工作：平衡 U A B （1）全对称应变电桥 （2）输出端对称电桥 （3）电源端对称电桥 未工作：平衡 U A B 全对称应变电桥 工作： 不平衡 结论:（1） （2）和差法则 对臂和 邻臂差 和差法则 对臂和 邻臂差 差动对 等截面 弹性梁 单臂 应变电桥 双臂 应变电桥 全臂 应变电桥 温度 补偿电桥 应变片1个 平衡电阻3个 应变片2个 平衡电阻2个 应变片4个 U R R R 应变片R 理论 近似值 单臂工作电桥 （1）输出端对称电桥（2）电源端对称电桥 （3）交流电桥 平衡条件： 输出电压： N B D 应变仪 交流应变仪 应变 电桥 放大器 稳压 电源 记录器 直流应变仪 应变 电桥 放大器 相敏 检波器 滤波器 记录器 稳压 电源 移相器 载波 振荡器 + + R R R R 保持信号幅度不变，对输入信号进行相位移动。 + + R R R C 3DJ D 参考信号 输入信号 A A 门控信号 检波信号 输出整流信号，形状与相位有关。 低电平 高电平 正极性 负极性 低电平， 高电平， + A 通低频，隔高频。 V应变 V放大 V移相 V相敏 V滤波 V应变 V放大 V移相 V相敏 V滤波 *