DSS多晶炉操作手册.docVIP

DSS 炉操作手册 DSS 炉操作手册 1 1. 安全 4 1.1 本地代码和标准 4 1.2 安全文件 4 1.3 安全符号 4 1.4 安全保护措施 4 2.设备规格 8 2.1 外围设施要求 8 2.2 设备平面图 11 3.系统概述 12 3.1 介绍 12 3.2 操作原理 12 3.3 系统硬件 12 4. 控制平台 14 4.1 操作显示屏 14 4.2 报警按钮 14 4.3 结束触发报警按钮 15 4.4 接触器断开界面 16 4.5 浏览界面 17 4.6 细节界面 17 4.7 模式界面 19 4.8 前进到下个阶段 19 4.9 你确定想终止界面吗？ 20 4.10 主要参数界面 20 4.11 PID值界面 21 4.12 手动界面 21 4.13 抽气界面 21 4.14 配方按钮 22 4.15 手动按钮 22 4.16 Real values 界面 23 4.17 隔热笼手动操作界面 24 4.18 手动隔热笼界面 25 4.19 图表数据界面 25 4.20 功率曲线对比图 27 4.21 功率数据模式/步骤界面 27 4.22 模式/步骤界面-模式/步骤失效界面 28 4.23 “disable power profile”按钮 28 4.24 “last log table”按钮 29 4.25 同意/不同意功率曲线 29 5. 炉子的操作 30 5.1 概述 30 5.2 打开炉腔 30 5.3 取出长晶好的硅锭 32 5.4 DSS450 卸锭 33 5.5 加入新硅料 34 5.6 自动运行 37 5.7 自动运行顺序 39 5.8监控自动循环程序 42 5.9 报警响应 43 5.10 调节操作条件和跳步 44 5.11 终止自动运行 45 5.12 热电偶故障 46 5.13 炉子超温 48 5.14 水温 48 5.15 硅料溢流报警 50 5.16 测量硅锭长晶 50 6. 安装 52 6.1 必须设备 52 6.2 安装步骤 52 7. 退役 53 8. 先进功能 53 8.1 控制循环 54 8.2 DSS炉生长期间的操作顺序 55 8.3 配方的开发和修改 57 8.4 主参数的定义 63 8.5 故障的解决 69 8.6 下载新的软件 78 1. 安全 1.1 本地代码和标准 每一个用户都有责任.保证设计，设施的布置/连接和工艺流程状况符合本地代码和标准。 1.2 安全文件 定向固化系统的安全文件都放在电柜门内。 1.3 安全符号 这本手册里的下列安全符号着重强调了特别的信息或者警告了潜在的危险。用户有责任将这些符号的含义告诉给操作工，维修工和安装人员且让他们充分理解。每一个符号右边的概述说明了危险或者警告的严重性。 用这些安全符号描述和代替符号右边的所有语句信息或者一部分信息。下面列出了本手册涉及到的安全说明和安全符号清单。所有的条款和说明都符合ANSIZ535.4(产品安全符号标志)，ISO3864（安全颜色和安全符号）和IEC60417(关于设备使用的图解符号)指南，但文本已经修改了以便解释特殊的危险或者注意信息。 危险 说明危险，如果不注意避免会导致死亡或者严重的伤害。 警告 说明有潜在的危险，如果不注意避免会导致严重的伤害。 注意 说明有危险，如果不注意避免会导致中等程度的伤害。 声明 保护人员或者财产的声明。 1.4 安全保护措施 按照本手册里描述的断开电源步骤操作。 ！危 险 危险的电压 如果触摸电压，将被电击或者烧焦。 维修前必须断开电源。 在工艺操作期间，不要触摸热表面或者热材料。 ！警告 必须戴安全手套。 硅锭温度极高。在冷却循环期间不要触摸硅锭。 ！注意 不要触摸热表面 维修前要冷却。 卸下硅锭过程中，迅速冷却将造成坩埚裂碎。飞溅的碎片可能会烫伤操作工，所以必须戴上保护手套。 ！警告 有烫伤眼睛的危险。 必须戴上防护眼镜。 1.4.1 设备危险说明 注意：设备危险包括多个压力点，高压和装卸期间暴露在外很热的接线端子。该设备有安全内锁装置和危险警告符号以保护操作工的人身安全。 警告： 不要触碰没有保护围栏的设备。 警告： 不要企图忽略任何安全内锁装置。当门和安全护栏没有位于正确位置时，这些内锁装置能避免自动操作。 1.4.2 高压保护说明 仔细阅读这些操作指南能避免遭到潜在和致命的电击伤害，能防止设备遭受意外损害。尤其需要强调的是，在急停情况下，不要单独一个人工作，必须协同另外的操作工一起工作。 当你在周围有通电导线的场所或者有高压设备的地方工作时，你的一只手必须插在口袋里。 穿上橡胶底的鞋子或者运动鞋。绝缘地板比金属地板或者裸露的水泥地面绝缘性好，但是这是由实际情况决定的（不在你的控制范围内）