传感器：第八章 固态传感器.pptVIP

第八章 固态传感器 8.1 磁敏传感器 8.2 光敏传感器 8.3 电荷耦合图像传感器 8.4 气体传感器 8.5 湿度传感器 （二）接触燃烧式气敏元件的结构 接触式气敏元件的结构以及感应特性参见下图。 二、半导体气体传感器 （一）半导体气敏原理概述 粗略地说，半导体气敏元件的工作原理，是当其氧化物半导体表面一旦吸附某些气体时，其电导率将发生改变。但是，电导率变化的机理却因元件本身的复杂因素而不易找出其相互间的明确规律。气敏元件体积虽小，其复杂因素大致表现为如下六个方面： ①气敏功能材料不是单晶体； ②为改善元件气敏选择性和灵敏度，一般要往金属氧化物内添加催化剂和其他金属氧化物，为提高元件强度还需添加粘合剂； ③利用的是物质的表面； ④元件工作在较高温度下(一般200一400℃)； ⑤被测气体种类繁多，它们各具不同特性； ⑥吸附现象本身就非常复杂，既有物理型吸附，同时还存在化学型吸附等。 通过长期的基础研究，将这些错综复杂的因素所形成的气敏现像，归纳成四种解释模式，并从不同角度来解释不同类型的半导体气敏元件的工作原理。 1. 能级生成理论 当还原性气体吸附到SnO2和ZnO等N型半导体表面时，还原性气体就把其电子给