降低划片工序纯水消耗项目.pptVIP

降低划片工序纯水消耗 部门：生产一部 组长：隗合磊 2011年2月 划片工序解释 将晶圆芯片进行有效分割。使其能够变成若干个独立的集成电路芯片。在这个过程中使用大量的纯水进行废屑的冲刷。 晶圆： 选题理由 现状分析 目标设定 影响划片设备工作的各项纯水参数工艺值如表述，因整个改进策划是在保证产品质量的前提下进行，所以过程中采用对以下参数逐项调试方式进行 制定对策（二） 验证DFD651设备NCS Sensor Wafer Washing Shower用水调整实施过程 验证DFD651设备 Water Curtain cutting blade用水调整实施过程 验证DFD651设备 Water Spray water blade 用水调整实施过程 验证DFD6340设备 Blade cooler shower spray用水调整实施过程 效果检查（三） 划片设备的纯水用量比调整前每分钟下降了45%！达到了既定目标！ 无形效益 1.响应国家号召，减少水资源的使用。 2.提高员工节约用水的环保意识。 3.降低工业废水的排放。 巩固措施 巩固效果确认 我们通过对2011年2月的用水统计，2台DFD651和1台DFD6340划片机日均纯水消耗有了明显的降低，活动效果得到有效保证。 总结 下一步打算 有了本次成功的QC活动，准备将提高芯片测试针卡使用率做为下一次QC活动的课题。 谢 谢 2.重新对生产现场工人进行工艺培训。 1.将活动期间划片设备纯水最终用量数据反馈给生产技术部工艺工程师。 并更新相应的工艺文件和设备用水参数. Q/DMT 大唐微电子技术有限公司技术文件 DFD651划片机工艺规范 大唐微电子技术有限公司 2011-1-20 GGSC256-01 Q/DMT 大唐微电子技术有限公司技术文件 DFD6340划片机工艺规范 大唐微电子技术有限公司 2011-1-20 GGSC269-01 通过本次QC活动，加强了组员的团队精神，使小组全体成员能运用QC工具解决实际生产中的问题。 并认真客观地作了自我评价，详见下图表： 90 80 个人能力 95 80 质量意识 90 75 团队意识 95 85 成本意识 80 60 QC知识 活动后 活动前 项目　 * * * * * * * * QC小组活动 QC 小组概况 1、小组名称： 降低划片工序纯水消耗QC小组 2、小组组长：隗合磊 3、组员： 高志威 刘建光 赵树强 薛然 4、组建时间：2010.2 5、活动计划：2010.1~2011.2 WWW.DATANG.COM WWW.DATANG.COM 为节能降耗，节约生产成本，降低划片设备纯水用量，了解划片设备纯水用量最低值，在满足质量工艺要求情况下减少工序纯水消耗。 WWW.DATANG.COM 1、生产所用纯水需经过大量自来水进行转换。水资源是稀缺资源，不能以金钱来衡量的生产资料，所以更是体现节约生产用纯水的重要性。 ------------------------------------------------- 2.设备用水量一直未经过调整。 ------------------------------------------------- 3、目前3台划片设备运行时纯水用量为 16.3L/min 。 3台划片机每分钟纯水使用量降低 20%。 目标设定依据： 通过参观学习， 参考同行业其它划片机纯水用量值明显少于我单位同类设备。 活动计划表 WWW.DATANG.COM 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 巩固措施 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 效果检查 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 对策实施 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 制订对策 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 要因确认 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 原因分析 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 设定目标 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 现状分析 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 选题理由 2月 1月