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平板波导的溶胶凝胶法制备与测试-光子学报
第 卷第 期 光 子 学 报
３８ ３
Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．３
年 月
２００９ ３ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａｒｃｈ２００９
平板波导的溶胶 凝胶法制备与测试
张志林，叶淼，孙伟民
（哈尔滨工程大学 理学院，哈尔滨 １５０００１）
摘 要：利用溶胶 凝胶法制作了平板波导 实验中，在不同的条件下采用溶胶 凝胶法在玻璃衬底
．
上制备出 平板波导，分析了影响平板波导的因素，如溶胶 凝胶溶液的浓度、 值，滴胶速
ＴｉＯ２ ｐＨ
度，热处理等 并对在不同工艺条件下的波导膜特性进行了测试，分析了影响波导膜质量的各个因
．
素 实验表明，在控制实验条件的前提下溶胶 凝胶法在制作平板波导膜的工艺上制作方法简单，容
．
易实现．
关键词：平板波导；制作；溶胶 凝胶
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
Ｏ４８４．４ Ａ １００４４２１３２００９０３５６１５
０ 引言 胶机在玻璃衬底上形成膜层．
图 显示了旋涂的过程 将衬底以一定角速度
１ ．
溶胶是指在液体介质中分散了 １ １００ｎｍ粒 旋转，当溶胶液滴从上方落于衬底表面时，它就被迅
～
子（基本单元）的体系；凝胶是含有亚微米孔和聚合 速的分覆到衬底的整个表面 显然，衬底的旋转速度
．
链的相互连接的坚实的网络 溶胶凝胶法指金属有
． 会影响膜的厚度 涂完后再经过一定的热处理后便
．
机或无机化合物经过溶液、溶胶和凝胶而固化，再经 可得到波导薄膜．
［ ］
热处理形成氧化物或其它固体化合物的方法 １３ ．
现代溶胶 凝胶技术的研究始于 世纪中叶，
１９
利用溶胶和凝胶制备单组分化合物 年，
．１８４６ Ｊ．Ｊ．
发现四氯化硅（ ）与乙醇混合后在湿
Ｅｂｅｌｍｅｎ ＳｉＣｌ
４
空气中水解并形成了凝胶，但并没有引起重视．Ｗ．
Ｇｅｆｃｋｅｎ利用金属醇盐水解和凝胶化制备了氧化物
膜，从而
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