高真空泵浦简介-黄建麟.ppt

2002/12/23 SHIMADZU CORPORATION 高真空泵浦分类 1.高真空定义 压力在1×10 -3 到1×15 -6 毫米汞柱范围内的真空 2.高真空分类 1、分子泵 2、扩散泵 3、低温泵 Trouble shooting(1)-Action 請先確認controller 面板上的alarm No. ↓ 參照使用說明書確認{可能的原因}及{處理方法} ↓ 依據處理方法將trouble原因去除 岛津分子泵使用注意事项 请相关人员仔细阅读并充分理解岛津分子泵及其控制器的操作说明书 分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥，电缆线正常连接并锁紧 分子泵在通电后及正常运转时内部旋转体是由电磁力支撑悬浮的，请尽量不要碰撞泵体、控制器和缆线 当换靶或做设备保养需要停止分子泵时，请先给出停机指令（STOP），待分子泵减速结束，ROTATION指示灯熄灭（液晶显示屏上显示STOP及转速显示为0%），确认分子泵已经完全停止，才可以关掉电源。如需要拆下缆线，在如前述正常停止分子泵并关掉对应的控制器电源后，才可以拆下与分子泵对应的缆线。分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头 当需要对腔体恢复大气时，务必等分子泵完全停止时再进行放气 岛津分子泵使用注意事项 当遇到意外断电时，分子泵会发生报警（POWER FAILURE）