时域相位测量.pptx

时域相位测量;内容提要;相位测量的一般原理;理论基础知识;二者叠加合成为 因为强度正比于振幅的平方，或复振幅与其共轭的乘积，所以光强为 变形为 ;其中相位差 用振幅进行表示 令 条纹反衬度;可得双光束干涉场中强度分布的另一标准表达式： 相位差和光程差之前通过波矢相联系： 其中k是波矢： ;时域相位;缺陷会造成较大的误差，往往要通过特定的算法识别并绕过缺陷才能完整而准确的恢复出物体的三维轮廓。 相位法测量轮廓术采用结构光照明，投影光场是面形分布的。目前常见的几种相位测量轮廓术包括莫尔法轮廓术、空域相位轮廓术、时域相位轮廓术、傅立叶变换轮廓术。;2012/12/31;莫尔轮廓术;下面根据照射型为例来解释简单它的基本原理：;?;如果根据莫尔图形测出其X，Y平面内的尺寸，再由高度公式算出该条纹离开光栅的距离，选择物体的高度坐标往往就是测量值(有时要作某些修整)，于是就可得到物体的三维尺寸了。 照射型莫尔法的特点是原理简单，精度较高，但由于制造面积较大的光栅很困难，故该方法只适用于小物体的测量。 投影莫尔法是将光栅投射到被测物体上，然后在观察侧用第二个光栅观察物体表面的变形光栅像，这样就得到莫尔条纹。分析莫尔条纹就可以得到物体的深度信息。该方法的特点是适合于测量较大的物体。 扫描莫尔的方法，这种方法是投影莫尔法的一种变形，其投影侧与投影莫尔法相同，但在观察侧不用光栅来形成莫尔条纹，而是用电子扫描光栅和变形像迭加生成莫尔等高线。;L为CCD平面到参考平面的距离。P0是投影光栅在参考平面上的周期。P1是投影系统的入瞳平面中心点，I1是成像系统入瞳平面中心点。 ;空域测量轮廓术; I0,I1,…,In-1相当于N-1次相移所得到的N幅条纹图像，可以用时域移相法的公式来计算。常见的方法是使相邻像素的相位差为　 ；N一般取3—5。N点法原理上假设原图样中相邻N点的相位相等，因此要求相位变化缓慢，否则在测量物体斜率较大的部分时误差就会比较大。另外，N点法的分辨率比对应的N步法低(相差N倍)。 ;傅立叶变换轮廓术;其中R(x,y)是物体表面的反射率， 　　　是包含测量物体表面三维信息的相位。当h(x,y)=0时，变形光栅图的方程为： 对上式进行一维傅立叶变换，变换结果始终包括低频(背景)、基频(光栅)和高频三个部分，即 ;其中B是背景项频谱，M是基频项频谱，H是高频项频谱。若用带通滤波器滤出M成份，并做逆傅立叶变换，可得到;类似式2同样可得： 式3和式4两式相除可得： 根据图1中的系统结构，可得到高度公式为;时域相位测量轮廓术原理;时域相位测量轮廓术的基本原理是光波的干涉理论。如左图所示，投影系统将一正弦分布的光场投影到被测物体表面，由于受到物面高度的调制，条纹发生形变。;如左图所示，由CCD摄像机获取的变形条纹可表示为： n表示第n帧条纹图(n=0，1，?，N-1)。I(x,y)是摄像机接收到的光;相位的求解采用N帧相移算法，即光栅每次移动 　 个周期，　此时，条纹图的相位被移动 　，产生一个新的强度函数In(x,y)，用三个或更多的不同相移值的条纹图，所求物面上的相位分布可表示为: 从上式可看出N帧相移算法与R(x，y)，A（x,y）及　 无关，即对背景、对比度不敏感。由上式计算得到的相位分布，由于反三角运算的性质而被截断在其主值范围内，即在±　 (k=0，1，2，?)处不连续，使用解包裹算法(解截断算法)可以恢复 　　 原有的连续分布形式。;时域相位算法;各轮廓术之间的优劣;相位测量法;时域相位测量算法;2.1时域相位测量基本原理;2.1时域相位测量原理;2.2相移算法简介;2.3.1相移算法-三步法;2.3.2四步算法;2.3.3五步算法 ;2.3.3五步算法;2.3.4Carre算法;2.3.4Carre算法;2.3.5N步算法;2.3.5N步算法;2.3.5N步算法;2.3.5N步算法;2.3.5N步算法;2.3.5N步算法;2.3.5N步算法;2.3.6N+1步算法;2.4相移算法总结;2.4相移算法总结;实例分析;2012/12/31;主要内容;相位获取;相位获取1——差值相位法;在物体发生形变之后，采用四步相移，可以得到如下的方程组：;用方程组2中的每个式子和方程1相减并取绝对值，同时利用三角函数关系可以得到如下的方程组：;再把上式平方后可得;因为Φ是随机分布的，取集平均后可得;2，相位差值法;变形前后的相位相减得到物体的相位变化，对应于在CCD任一个像素上的相位差为;另外需要注意的是：由式（6）和式（9）可知，相位差值法和差值相位法都是利用反正切函数求解相位值，因此直接得到的相位包裹在区间[-π,+π]内。这样得到的数据并非相位的真实值，如果需要求取真实的相位分布，需要对其进行相位展开（解包裹）