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离子镀举例 氮化钛薄膜以其极高的熔点和硬度、良好的耐腐性以及完美的黄金色泽,得到了广泛应用。TiO2薄膜具有优良的光学性质,广泛应用于光催化-光降解、太阳电池、减反射膜和防雾- 防露薄膜等领域。1986 年, Shinri Sato 等发现, 通过煅烧在NH4C1或NH4OH中钛的氢氧化物,将氮引入到TiO2中,使TiO2具有可见光活性。 利用多弧离子镀制备了Al/TiNO 薄膜,有效扩展了TiO2薄膜的光吸收范围,获得了色彩丰富的低红外发射率Al/TiNO薄膜。 离子镀举例 材料制备 为了提高TiNO薄膜与Al箔的结合力,采取了如下措施: ( 1 )置入真空室前衬底材料分别在洗涤剂、去离子水、汽油、乙醇中超声10 min,烘干; (2)置入真空室后, 100℃烘烤10 min,溅射前用多弧离子镀进行了离子轰击,在Al箔表面进行等离子体清洗;(3)在基片上施加负偏压。 离子镀举例 实验本底真空为3 MPa,在试样沉积前,通入氩气至80 MPa,阴极电流为75 A, 800 V直流负偏压对样品表面进行氩离子轰击,以去除表面吸附的气体和杂质。当真空溅射室内本底真空优于3 MPa时引入N2和O2混合气体,气压稳定后使圆筒(衬底)低速顺时针转动,开始溅射沉积TiNO薄膜,实验工艺参数为:溅射压强为0. 2 Pa,靶源电流为75 A,轰击