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第三节无源器件
第三章 集成电路中的无源元件 一、集成电路电阻： 1、电阻结构 基区扩散电阻 发射区扩散电阻 基区沟道电阻 外延层电阻 外延层沟道电阻 离子注入电阻 多晶硅电阻 N阱电阻 MOS电阻 集成电路中电阻1 集成电路中电阻2 集成电路中电阻3 集成电路中电阻4 集成电路中电阻5 集成电路中电阻6 2、电阻修正 3、电阻版图尺寸的确定 提高电阻的比值精度 用标准电阻组合实现不同阻值 电阻的寄生效应 二、集成电路中的电容 集成电路中电容1 集成电路中电容 2、电容器的寄生效应 三、集成电路中的连线 1、连线的寄生电容 2、连线的寄生电阻 4、互连线寄生效应的影响 * * AL SiO2 R+ P P+ P-SUB N+ R- VCC N+-BL N-epi P+ 基区扩散电阻 SiO2 R N+ P+ P-SUB R N+-BL N-epi P+ 发射区扩散电阻 基区沟道电阻 外延层沟道电阻 SiO2 R P+ P-SUB R N-epi P+ P N+ MOS中多晶硅电阻 SiO2 Si 多晶硅 氧化层 电阻端头修正 拐角的修正 横向扩散修正 薄层电阻值修正 1、电容结构 pn结电容 MOS电容 MOS感应沟道电容 金属电容 多晶硅电容 SiO2 A- P+ P-SUB B+ N+-BL N+E P+ N P+-I A- B+ Cjs 发射区扩散层—隔离层—隐埋层扩散层PN电容 MOS电容 Al SiO2 AL P+ P-SUB N-epi P+ N+ N+ * * *
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