第十一章气敏传感器及其应用.ppt

第11章 气敏传感器及其应用 * 第11章 气敏传感器及其应用 气体传感器:将被测气体的类别、浓度和成分转换为与其成一定关系的电信号的装置或器件，用来提供有关待测气体的存在及其浓度大小的信息。 11.1　热导式气体传感器 热线式气体传感器 R1、R2可用不带催化剂的白金线圈制作，也可用热敏电阻。R2内封已知的比较气体，Rl与外界相通，当被测气体与其相接触时，由于热导率相异，R1的温度变化，Rl的阻值也发生相应的变化，电桥失去平衡，电桥输出信号的大小与被测气体的种类或浓度有确定的关系。 典型的热线热导率式气敏传感器及其测量电路 这种传感器多用于油船或液态天然气运输船。 热敏电阻气体传感器 热敏电阻作电桥的两个臂组成测量电桥，如图所示。当热敏电阻通以10mA的电流加热到150~200℃时，R1一旦接触到甲烷等可燃性气体，由于热导率不同而产生温度变化，从而产生电阻值变化使电桥失去平衡。电桥输出信号的大小反映被测气体的种类或浓度。 11.2　接触燃烧式气敏传感器 接触燃烧式气敏传感器结构与测量电路原理如图 铂金等金属线圈埋设在氧化催化剂中便构成接触燃烧式气敏传感器 一般在金属线圈中通以电流，使之保持在300~500℃的高温状态，当可燃性气体与传感器表面接触，燃烧热进一步使金属丝温度升高，从而电阻值增大。 测量电路如图 (b) 所示，Rl-气敏元件，R2-温度补偿元件，R3、R4均为铂金电阻丝。R1-R4组成惠斯通电桥. 不存在可燃性气体:电桥处于平衡状态； 存在可燃性气体:R1电阻值增量ΔR，电桥失去平衡，输出与可燃性气体的种类或浓度成比例的电信号。 图 (c) 是这种气敏传感器的几种典型特性曲线。 优点:气体选择性好，线性好，受温度、湿度等参数影响小，响应快。 缺点:对低浓度可燃性气体灵敏度低，敏感元件受催化剂侵害后其特性锐减，金属丝易断。 11.3 半导体气体传感器 ? 半导体气体传感器是利用待测气体与半导体表面接触时， 产生的电导率等物理性质变化来检测气体的。 按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为表面控制型和体控制型。 按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻型和非电阻型 半导体气敏器件的分类 1．表面电阻控制型气敏器件 利用半导体表面因吸附气体引起半导体元件电阻值变化特性制成的一类传感器。多数是以可燃性气体为检测对象,但如果吸附能力很强,即使是非可燃性气体也能作为检测对象。 特点：灵敏度高、响应速度比一般传感器快、实用价值大等优点。 ? 一、 电阻型半导体气敏器件 工作原理：主要是靠表面电导率变化的信息来检验被接触气体分子。因此,要求做这种器件的半导体材料的体内电导率一定要小,这样才能提高气敏器件的灵敏度。 表面电阻控制型气体传感器的结构 (a)烧结型；(b)薄膜型;(c)厚膜型;(d)多层结构型 气敏器件的阻值R与空气中被测气体的浓度C成对数关系变化: 氧化锡气敏传感器阻值与被测气体浓度的关系 2．体电阻控制型气敏器件 对热敏型气敏器件而言,在600～900°Ｃ下,在半导体表面吸附可燃性气体时,由于这类器件的工作温度比较高,被吸附气体燃烧使器件的温度进一步升高, 半导体的体电阻发生变化。 目前常使用的ν-Fe2O3气敏器件,其结构如图示。 当它与气体接触时,随着气体浓度增加形成Fe+2离子,而变成为Fe3O4,使器件的体电阻下降。 Fe2O3类气敏传感器也要用加热措施,通常在元件外部由电热丝烘烤。接触还原性气体后电阻值下降。典型三氧化二铁气敏特性如图所示。图中表明:它对异丁烷和丙烷很灵敏,适合探测液化石油气。 Fe2O3气敏特性 二、非电阻控制型半导体气敏器件（了解） MOS二极管气敏器件：利用MOS二极管的电容-电压关系(C-V特性)来检测气体的敏感器件。图表示这种气敏器件的结构。 半导体气敏元件的气敏选择性 由于各种还原性气体的最佳氧化温度不同，可以通过改变氧化物传感器的工作温度来提高其对某种气体的选择性。例如在催化剂Pd的作用下，CO的氧化温度要比一般碳氢化合物低得多，因此，在低温条件下使用可提高对CO气体的选择性； 通过使用某种物理或化学的过滤膜，使单一的待检测气体能通过该膜到达氧化物半导体表面，而拒绝其它气体通过，从而达到选择性检测气体的目的。如石墨过滤膜，涂在厚膜氧化物传感器表面可以消除氧化性气体（如NOx）对传感器信号的影响。 半导体气敏传感器测试电路 半导体气敏器件由于灵敏度高、响应时间和恢复时间短、使用寿命长、成本低，而得到了广泛的应用。目前，应用最广的是烧结型气敏器件，主要是SnO2、