三维互连电阻解析与边界元耦合提取方法-清华大学.pdfVIP

( ) ISSN 清华大学学报 自然科学版 2004 年 第 44 卷 第 9 期 3236 CN 112223N 　 ( ) , 2004, . 44, . 9 J T singhu a U n iv Sci T ech V o l N o 　 三维互连电阻解析与边界元耦合提取方法 王习仁, 　喻文健, 　王泽毅 (清华大学 计算机科学与技术系, 北京 100084) 摘　要: 随着深亚微米工艺的广泛应用, 互连结构 日趋复 目前, 随着深亚微米工艺和多层布线技术的广 杂, 现有的互连电阻二维提取已难满足精度要求。该文提出 泛使用, 超大规模集成电路( ) 芯片内的布线密 V L S I 三维解析与边界元耦合提取方法, 它非均匀地切割互连线, [ 1 ] 度迅速上升 , 金属互连线平均长度迅速增加, 而宽 对直线段用解析公式计算, 对有复杂连接关系的线段用改进 [2 ] 度越来越小, 单位电阻增加 , 由此产生的互连延时 边界元法计算, 再将两者耦合成整体电阻。对版图实例的实 [ 1 ] 越来越大 。同时, 寄生电阻对芯片的功耗、可靠性 验表明, 与商业软件 R ap h ae l 相比, 该方法有 2～ 3 个数量级 [3, 4 ] [ 5 ] 等均有显著影响 , 必须予以精确快速提取 。当 的加速比, 使用的内存是商业软件的 0. 1%～ 1% , 精度比默 前, 在工作频率约 5 GH z 条件下, 静电模型依然适用 认网格划分时的R ap h ae l 还要高, 证实该方法是快速精确 的。 于较细互连线的电阻提取。