实验2 以电浆溅镀法制作金属薄膜.doc

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2017-12-12 发布于境外
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实验2 以电浆溅镀法制作金属薄膜.doc

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金薄膜之作一目的利用蒸及法作金薄膜解真空技的基本知掌握低高真空的得和量的基本原理及方法解真空膜的基本知掌握蒸膜的基本原理和方法二原理膜技有很多但大上可分利用液及成膜方法前者大多涉及化化後者皆有些是利用化作用有些是於物理作用如所述真空膜方法本教材的重在於物理相沈的蒸蒸法及法原理及程述文同若其他膜方法有趣自行查籍路等料力低於一大的稀薄空真空在真空下由於稀薄分子之或分子其他之的碰撞次少分子在一定碰撞於固表面上的次亦相少致其有一系列新的物化特性如流小氧化作用少污染小汽化低高真空的性能好等等真空技是基本技

實驗2 金屬薄膜之製作一、實驗目的學習利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)製作金屬薄膜。 1．瞭解真空技術的基本知識； 2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法； 3．瞭解真空鍍膜的基本知識； 4．學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法．二、實驗原理　　鍍膜技術有很多種，但大體上可分為利用液體及氣體成膜兩種方法，前者大多涉及化學變化，後者皆有些是利用化學作用，有些則是屬於物理作用。如圖(1)所述：圖(1) 真空鍍膜方法本教材的重點在於物理氣相沈積的熱