第2章 电阻式传感器课件--大学.pptVIP

第2章 电阻式传感器 主讲：张 坤 应变 物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象 弹性应变 当外力去除后，物体能够完全恢复其尺寸和形状的应变 弹性元件 具有弹性应变特性的物体 是利用电阻应变片将应变转换为电阻值变化的传感器 工作原理： 当被测物理量作用于弹性元件上，弹性元件在力、力矩或压力等的作用下发生变形，产生相应的应变或位移，然后传递给与之相连的应变片，引起应变片的电阻值变化，通过测量电路变成电量输出。输出的电量大小反映被测量的大小。 结构：应变式传感器由弹性元件上粘贴电阻应变片构成 式中，?l / l =ε为金属导体电阻丝的轴向应变， 常用单位?? （1?? = 1×10-6 mm/mm ）。 由于S = ? d 2 / 4，则?S / S = 2 ?d / d, 其中?d / d 为径向应变； 且由材料力学知， ?d / d = ??? ，式中?为金属材料的泊松比。 应变式压力传感器 　　主要用来测量流动介质的动态或静态压力 应变片压力传感器大多采用膜片式或筒式弹性元件。  　　在压力p作用下，膜片产生径向应变εr和切向应变εt，表达式分别为 图3-15 膜片式压力传感器 （a） 应变变化图; （b） 应变片粘贴 应变变化曲线的特点：当x=0时，εrmax=εtmax；当x=R时，εt=0， εr=－2εrmax。  特点的应用：一般在平膜片圆心处切向粘贴R1、R4两个应变片， 在边缘处沿径向粘贴R2、R3两个应变片，然后接成全桥测量电路。 避开　　　位置。 应变式容器内液体重量传感器 感压膜感受上面液体的压力。 当容器中溶液增多时，感压膜感受的压力就增大。将其上两个传感器Rt的电桥接成正向串接的双电桥电路，此时输出电压为 Uo=U1＋U2=(K1＋K2)hρg 式中, K1，K2为传感器传输系数。 结论：电桥输出电压与柱式容器内感压膜上面溶液的重量成线性关系，因此可以测量容器内储存的溶液重量。 图3-16 应变片容器内液体重量传感器 应变式加速度传感器 用于物体加速度的测量。 依据：a=F/m。  图3-17 电阻应变式加速度传感器结构图 测量原理：将传感器壳体与被测对象刚性连接，当被测物体以加速度a 运动时，质量块受到一个与加速度方向相反的惯性力作用， 使悬臂梁变形，该变形被粘贴在悬臂梁上的应变片感受到并随之产生应变，从而使应变片的电阻发生变化。 电阻的变化引起应变片组成的桥路出现不平衡，从而输出电压， 即可得出加速度a值的大小。  适用范围：不适用于频率较高的振动和冲击场合， 一般适用频率为10~60 Hz范围。 2.2 半导体应变片及压阻式传感器 2.2.1 半导体应变片 半导体应变片是用半导体材料，采用与丝式应变片相同方法制成的。 半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 压阻效应：材料的电阻率随作用应力而变化的现象称为该材料的压阻效应 。 所有材料在某种程度上都呈现压阻现象，但半导体材料的这种效应特别显著，能直接反映出微小的应变。 半导体压阻效应可解释为：由应变引起能带变形，从而使能带中的载流子迁移率及浓度也相应地发生相对变化，因此导致电阻率变化。 1 – 应变片 2 – 半导体敏感条 3 – 外引线 4 – 引线连接片 5 – 内引线 体形半导体应变片的结构形状 半导体应变片的制作方法 将半导体材料按所需晶向切割成片或条，粘贴在弹性元件上，制成单根状敏感栅使用，称作“体型半导体应变片”。 将P型杂质扩散到N型硅片上，形成极薄的导电P型层，焊上引线即成应变片称作“扩散硅应变片”。 优点：尺寸、横向效应和机械滞后都很小，灵敏度高，频率响应范围很宽，输出幅值大，不需要放大器，可直接与记录仪连接使用，使测量系统简单，分辨率高。 缺点：温度系数大，测量较大应变时非线性比较严重。 半导体电阻应变片的测量电路 一般采用直流电桥电路，但须采用温度补偿措施，如图所示。 2.2.2 压阻式传感器 半导体硅有良好的弹性形变性能和显著的压阻效应。利用半导体硅的压阻效应和集成电路技术制成的力传感器，具有灵敏度高、动态响应快、工作温度范围宽、稳定性好、易集成化等一系列优点，因此应用日益广泛。 早期的硅压力传感器是半导体应变片式的，是金属应变片的延伸；是利用半导体比金属高的灵敏系数，代替合金材料，把硅片或其制