第6章 位移的检测.ppt

传感器与自动检测技术 刘丽 主编 6.1 电感式传感器测量位移 6.1 电感式传感器测量位移 6.1.1位移检测的主要方法及特点 根据所检测的位移类型，可分为线位移和角位移的检测。 根据位移检测范围变化的大小，可分为小位移检测和大位移检测。 根据检测的转换结果，可分为两类，一类是将位移量转换为模拟量，另一类是将位移量转换成数字量 。 根据位移检测方法分类，可分为直接测量和间接测量两类。 6.1 电感式传感器测量位移 6.1.2自感式传感器 电感式传感器是利用电磁感应原理将被测量转换成线圈自感系数或互感系数的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出的一种装置。按照转换方式的不同，可分为自感式和互感式（差动变压器式）。 6.1 电感式传感器测量位移 根据变化量的不同，可将自感传感器分为三种类型： （1）变面积式电感传感器 6.1 电感式传感器测量位移 （3）螺线管式电感传感器 6.1 电感式传感器测量位移 （4）差动电感传感器 为了提高灵敏度和线性度，减小电磁吸力所造成的附加误差。上述三种类型的传感器常采用差动式，两个完全相同的单个线圈的电感传感器共用一个活动衔铁就构成了差动电感传感器。 6.1 电感式传感器测量位移 2．电感式传感器测量电路 电感式传感器的测量电路有交流分压器式、交流电桥式和谐振式等几种。对于差动式电感传感器通常都采用交流电桥电路。 （1）电阻平衡臂电桥 电阻平衡臂电桥电路如图6-10所示，传感器的两个线圈（阻抗为Z1和Z2）作为电桥的两个臂，用两个电阻R1、R2作电桥的另外两个臂。 6.1 电感式传感器测量位移 （2）变压器电桥 6.1 电感式传感器测量位移 6.1.3差动变压器 互感型电感传感器是先将被测量的变化转换成互感系数M的变化，再变换为电压信号输出。这种传感器实质上是一个输出电压可变的变压器。当变压器初级线圈输入稳定交流电压后，次级线圈便产生感应电压输出，该电压随被测量的变化而变化，所以又称为差动变压器，其结构形式有多种，应用最广的是螺管式差动变压器。 1．差动变压器工作原理 螺管式差动变压器主要由初级线圈、次级线圈、衔铁和线圈框架等组成。 6.1 电感式传感器测量位移 两个次级线圈极性反接，输出 = － 输出的随活动衔铁的位置而变。 当活动衔铁的位置居中时，互感M1＝M2＝M，即 = ， =0； 当活动衔铁向上， ， ， 与 同相； 当活动衔铁向下，即 ， ， 与 反相。 6.1 电感式传感器测量位移 2．差动变压器式传感器测量转换电路 （1）差动相敏检波电路 当差动变压器衔铁从中间向上或向下位移时，对应输出电压信号为负极性或正极性，即输出电压的极性能反映衔铁位移的方向，电压值大小表明了位移的大小。 6.1 电感式传感器测量位移 （2）差动整流电路 差动整流电路把差动变压器两个次级电压分别整流后，以它们的差作为输出。图 (a)、(b)用于连接低阻抗负载（例如动圈形电流表）的场合，是电流输出型的差动整流电路。图 (c)、(d)用在连接高阻抗负载（如数字电压表）的场合，是电压输出型的差动整流电路。 6.1 电感式传感器测量位移 3．差动变压器基本特性 （1）灵敏度 差动变压器的灵敏度是指差动变压器衔铁移动单位长度时所产生的输出电压的变化。 （2）频率特性 差动变压器的激磁频率一般从50Hz到10KHz较为适当。 （3）线性范围 理想的差动变压器次级输出电压应与衔铁位移成线性关系。 （4）温度特性 由于机械结构的膨胀、收缩、测量电路的温度特性等的影响，会造成差动变压器测量精度的下降。 （5）零位电压 当差动变压器衔铁位于中间位置时，理论上输出应为零，但实际上总是存在零位不平衡电压输出，即零位电压。 零位电压是由于两个次级线圈的结构不对称，以及初级线圈铜损电阻、铁磁材质不均匀、线圈间分布电容等原因所形成。 要减小零位电压，最重要的是使传感器的上下几何尺寸和电气参数严格地相互对称。同时，衔铁或铁芯必须经过热处理，以改善导磁性能，提高磁性能地均匀性和稳定性。对于存在零位电压的电路可采用零位补偿电路进行补偿。 6.1 电感式传感器测量位移 6.1.4电感式测微仪 电感式测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，它由主体和测头两部分组成