低温多晶硅TFT-LCD产业概况.doc

低温多晶硅TFT LCD产业概况 2002-7-13 l.??低温多晶硅(LTPS) TFT被视为具有潜力的平面显示器产品，具轻薄化、反应速度快、成本低的优势，相较TFT LCD，LTPS TFT LCD具技术优势，业界认为在LTPS TFT LCD良率改善后，将可取代a-Si TFT LCD成为高阶LCD的明星产品。 2.??LTPS TFT产值将快速成长：自2001年起全球业者大幅投资LTPS TFT产线，到2002年底产能增为原先的三倍，产量将在2002年起陆续开出，在众多投入者的竞争压力下，量产技术开发时程将加快脚步，有利于进一步压缩与a-Si TFT LCD之间的价差，如此将更能突显LTPS TFT在技术上的优势，快速提升普及率。 3.??台湾LTPS TFT业者目前有统宝、元太科技、友达，目前均锁定在中小尺寸面板市场，量产技术的克服仍是业者当前首要之务。 4.??对TFT厂商而言，LTPS TFT有抢占高阶LCD市场的威胁，不过LTPS TFT的发展对现行TFT厂商不一定是坏事，由于LTPS TFT与a-Si TFT的制程、技术有不少地方类似，如果LTPS TFT能依业界的预期发展，TFT厂商可就现有设备改良(增设雷射回火设备、…)，即可生产LTPS TFT面板，因此LTPS TFT的发展对TFT产业的成长仍具正面的意义。 一、LTPS TFT LCD自2001年蓬勃发展： TFT LCD目前技术分为非晶硅(a-Si TFT)与多晶硅(Poly-Si TFT)二种，市面上所见的TFT LCD几乎都是非晶硅(a-Si) TFT，a-Si TFT目前技术成熟，为LCD的主流产品，而低温多晶硅(LTPS) TFT主要藉由雷射退火制程形成多晶硅结构，多晶硅的晶体管电子移动速度较非晶硅提高百倍，具显示画面反映速度快、高亮度、及高可靠性…等优点，此外，对成本的降低也有助益，因此在这二年业者对LTPS TFT LCD的投资不断增加，根据Displaysearch的统计，2000年LTPS TFT的设备投资金额占整体TFT LCD的4.6%，到2001年已大幅提升到28%，成长相当快速。 LTPS TFT LCD应用领域囊括所有LCD应用市场，不过目前LTPS TFT LCD主要应用在中小尺寸的可携式产品，虽然Toshiba于2001年底已推出NB用的面板，不过目前良率仍低(75%)，因此厂商仍集中于中小尺寸面板的开发，预期LTPS在量产技术问题逐渐解决后，LTPS TFT LCD将可凭借其优于a-Si TFT LCD的产品特性，大举攻占LCD市场，往后应有宽广的发展空间。 二、性能优异的LTPS TFT LCD： 多晶硅(Poly Si)与单晶硅(a-Si)的差异主要就在硅晶体的排列方式，多晶硅的分子结构的排列状况是整齐有方向性的，与非晶硅的杂乱排列方式不同，由于硅晶排列方式一致，因此电子可以较高的速度移动，a-Si的电子移动速度为0.5~1.0cm2/Vs，而Poly-Si的速度高达600~700cm2/Vs，由于LTPS TFT LCD采多晶硅制程，电子移动速度除了可加快反应速度外，由于Poly-Si亦可作为驱动电路，因此可将外围驱动电路制作在玻璃基板上，而a-Si仅能作为画素的开关。 LTPS被视为相当具有潜力的平面显示器产品，主要就是因为其轻薄化、反应速度更快、成本低的优势，因此相较于TFT LCD，LTPS TFT LCD有许多的技术优势。 降低材料成本 由于LTPS TFT将驱动IC整合在面板内，因此可降低IC成本，而且可减少IC后段加工所产生的不良率，因此亦可提升良率。下一阶段在技术成熟后，更可将内存、数字模拟转换器也整合到面板，对成本降低的效益将更为明显。如果在产品良率达到与a-Si TFT LCD相当时，则生产成本可降低20%以上。 省电特性 LTPS TFT由于所制作的晶体管可以缩小，因此可以提升开口率，使得光线透过比率较高，所以在同样亮度的情况下，可以用光强度较弱的冷阴极管，进而减少耗电。 高精密化 由于LTPS TFT的晶体管体积较小，因此在同尺寸产品可容易制造出更高分辨率的面板，目前中小尺寸分辨率可达200ppi的水准，比a-Si TFTLCD的83~-93ppi高出很多。 高信赖度 以12”XGA面板为例，约需10-12颗驱动IC，因此PIN脚接点数高达4,000点如果采用LTPS面板则仅需200个接脚，因此可大幅降低因PIN脚接触不良而产生的不良。 表一 12” XGA TFT LCD特性比较 资料来源：工研院电子所 三、LTPS投资蔚为风潮： 由于LTPS TFT因其物理构造特性，使得较a-Si TFT性能优异，加上2001年a-Si TFT产能过剩，因此吸