超精密机床气浮导轨气体润滑研究.pdfVIP

2013年 8月 润滑与密封 Aug．2013 第38卷 第8期 LUBRICATION ENGINEERING Vo1．38No．8 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2013．08．023 超精密机床气浮导轨的气体润滑研究 周欢伟 (广州铁路职业技术学院 广东广州510430) 摘要：在用超精密机床加工V沟槽等微结构时，气浮导轨是保证超精密加工精度和表面光洁度的关键部件之一。 介绍气浮导轨结构及润滑方式的选择，对其拓扑结构进行设计，研究影响承载能力、刚度的因素，建立气体静态数学模 型，在雷诺方程和达西定律等理论基础上，建立一维和三维润滑数学模型。从温度、气压、地基等方面综合考虑了V 沟槽超精密加工机床气浮导轨的设计，可确保气浮导轨 良好的润滑性能，从而确保机床 良好的加工精度。 关键词：气体润滑；气浮导轨；超精密机床；刚度