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机械制造工艺 第一章2 1.12精密加工概念－精密加工 1.精密加工的概念 1）一般加工：加工精度≥10μm，公差等级IT6～IT5，Ra为0.8～0.2μm的加工方法; 2）精密加工：加工精度在1 ～ 0.1μm，公差等级在IT5以上，Ra:0.1～0.03μm的加工方法， 如精密车削、研磨、抛光、精密磨削、镜面磨削等。加工。 精密加工概念－超精密加工 3）超精密加工：加工精度在0.1～0.01 μm，表面粗糙度值在Ra 0.025～0.001μm的加工方法，如金刚石刀具超精密切削、超精密磨削等。如惯性导航仪静电陀螺球、超大规模集成电路基片等的加工。 4）纳米级：加工精度高于0.01μm，表面粗糙度值≤Ra 0.001μm，纳米级（10-3μm）的加工范围。 精密加工方法分类 1）采用金刚石和磨料 （1）金刚石刀具对工件进行超精密的微细切削； （2）磨料磨具对工件进行珩磨、研磨、抛光、精密和超精密磨削等，（光整加工）； 2）采用激光加工、等离子体加工、超声波加工方法； （1）电子束、惰性离子、活性离子、受控腐蚀加工等特种加工方法，主要用于加工尺寸微小，精度极高的零器件，如光学仪器零件、精密医行器械零件。（微细加工技术）。 精密加工的特点 （1）切削区的温度低：切削速度小、切削力小、工艺参数较磨削等精加工更小； （2）生产率低： （3）加工余量少：安排在