太阳电池工艺生产线(精美图片).ppt

* * 硅片的加工→表面制绒→扩散制结→除去背结→制作电极→腐蚀周边蒸镀减反射膜→检验测试硅太阳电池  太阳电池的制作过程 内圆切割机 在冷却液的作用下，固定在石墨条上的单晶硅向刀片会做相对移动。这种切割方法，技术成熟，刀片稳定性好，硅片表面平整度较好，设备价格相对较便宜，维修方便 线切割 通过粘有金刚石颗粒的金属丝的运动来达到切片的目的，用线切割机可以使材料损耗降低25％左右，所以切割损耗小，而且线切割的应力小，切割后硅片的表面损伤较小；但是，经线切割后，硅片的平整度稍差，设备相对昂贵，维修困难。 硅片清洗 硅片表面沾污是指沉积在硅表面的粒子、金属、有机物、湿气分子、和自然氧化膜的一种或几种。因为有机物会遮盖部分硅片表面，使氧化层和与之相关的沾污难以去除。 硅片清洗先去除表面的有机沾污，然后溶解氧化层，最后去除颗粒、金属沾污，同时使表面钝化。 硅片清洗的清洗液的功能 （1）去除硅表面的污染物。 （2）防止去除的污染物再向硅表面吸附。 电解离子水清洗硅片 用电解的方法将超净水或添加电解质的超净水分解为阴离子和阳离子，并通过调节电解液的浓度、电流密度等来控制其PH值和氧化还原电位，得到所需要的强氧化性溶液或强还原性溶液，以达到去除硅片表面的有机物、颗粒和金属的作用。 湿法化学清洗 溶液浸泡法 通过将要清洗的硅片放入溶液中浸泡来达到清除表面污染物的一种方法 机械擦洗法 （1）手工擦洗 （2）机械擦片机擦洗 （3）高压擦片机擦洗 超声波清洗 原理：液体介质能不会产生疏部和密部，疏部产生近乎真空的空腔泡，当空腔泡在消失的瞬间，其附近便产生强大的局部压力，使分子内化学键断裂，因此使硅片表面的杂质解析。 当超声波的频率和空腔的振动频率产生共振时，机械作用力达到最大，泡内积聚的大量热能，使温度升高，促进了化学反应的发生。 优点：清洗效果好，操作简单，对于复杂的器件和容器也能清除，但是该法噪音大，换能期易坏。 兆声波清洗技术 以高速的流体波连续冲击晶片表面，使硅片表面的污染物和细小微粒被强制除去并进入清洗液。