X射线光电子能谱XPS学习课程.ppt

三种铑催化剂X射线电子能谱对比分析； 4.4 腐蚀研究 为了减小钢材在海水中的腐蚀，常用阴极保护的方法，含有Sn的铝合金常用作牺牲阳极。Xps研究腐蚀机理。将纯Al和Al-Sn合金在3.5%NaCl溶液中浸泡1h取出，洗涤后xps分析。 72.2ev,75.8ev 75.8ev 488.6,486.3,486.6ev 表明Al-Sn合金氧化膜中的锡是以 Sn4+和Sn2+ * 当光子的能量远比电子所在能级的电离能大时，光电子将以很高的速度离开原子。由于电子从原子内壳层的突然离开，将会引起中心电位的突然改变。原子最外层轨道的电子受到这种电位变化的影响，使得它们从外层原子轨道上发射出去。这种现象称为光子振动发射 当光电离发射出一个电子后，对于外层价电子来说，相当于增加了一个核电荷。由此引起的弛豫过程会使价电子产生重排。在重排过程中，价电子中的一个原来的占据轨道（HOMO）向较高的，尚未被占的轨道（LUMO）跃迁。这样的跃迁称为携上过程，会在主峰的高结合能端出现一个能量损失峰。 携上峰与未成对电子有关，一般具有未成对电子的元素就可以产生shake－up峰。 * 费米能级是绝对零度下电子的最高能级。对于孤立原子，轨道结合能的定义为把一个电子从轨道移到核势场以外所需的能量，即以“自由电子能级”为基准的。在XPS中称这一基准为“真空能级” * 在最低处，说明光电子同固体中的其他电子和等离子体激元的散射作用趋于增强 * ?s= ?sp 谱仪功函数； ?a样品功函数 * Koopman[27]理论假设光电离时其它轨道无弛豫,但实际上在光电离时无论原子内或原子外的电荷分布都会出现重排, 即产生原子内和原子外的弛豫效应, 其效果是使发射的光电子动能增加, 结合能降低. * 面心立方晶格(FCC) ，体心立方晶格(BCC) ,排六方晶格（胞）（H.C.P.晶格）hexagona close-packed * 为填满电子的价壳层和缺一个电子的内层发生角动量的耦合，使谱线分裂 * Hfa:CF3COCH2COCF3 * 西格班Siegbahn (1918～) 瑞典物理学家,1981年获诺贝尔物理学奖 * X射线的单色性越高，谱仪的能量分辨率也越高。 * 提高了能量分辨率 * 小面积xps可以在预减速透镜中加限制孔以限制样品上的分析面来实现 * PZT陶瓷，属二元系，这种压电陶瓷目前受到广泛应用，它是PbZrO3和PbTiO3的固溶体 * Zalar转动是利用试片基座的转动，使离子不会只固定一个方向做撞溅，以减缓表面粗糙的形成 * 3t2g,2eg轨道 3.4 XPS的定性分析 XPS定性分析依据 XPS产生的光电子的结合能仅与元素种类以及所激发的原子轨道有关。特定元素的特定轨道产生的光电子能量是固定的，依据其结合能就可以标定元素； 从理论上，可以分析除H，He以外的所有元素，并且是一次全分析，范围非常广。 XPS定性分析方法 最常用的分析方法，一般利用XPS谱仪的宽扫描程序。为了提高定性分析的灵敏度，一般应加大通能，提高信噪比 在分析谱图时，首先必须考虑的是消除荷电位移。对于金属和半导体样品几乎不会荷电，因此不用校准。但对于绝缘样品，则必须进行校准。因为，当荷电较大时，会导致结合能位置有较大的偏移，导致错误判断。 另外，还必须注意携上峰，俄歇峰等这些伴峰对元素鉴定的影响。 XPS定性分析 由于X射线激发源的光子能量较高，可以同时激发出多个原子轨道的光电子，因此在XPS谱图上会出现多组谱峰。由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰，因此可以利用这些峰排除能量相近峰的干扰，非常有利于元素的定性标定。 此外，由于相近原子序数的元素激发出的光电子的结合能有较大的差异，因此相邻元素间的干扰作用很小。 XPS定性分析 高纯Al基片上沉积的Ti(CN)x薄膜的XPS谱图，激发源为Mg K?。 从图可见，在薄膜表面主要有Ti, N, C, O和Al元素存在。Ti, N的信号较弱，而O的信号很强。这结果表明形成的薄膜主要是氧化物，氧的存在会影响Ti(CN)x薄膜的形成 3.5 XPS定量分析 首先应当明确的是XPS并不是一种很好的定量分析方法。它给出的仅是一种半定量的分析结果，即相对含量而不是绝对含量。元素灵敏度因子法是一种半经验的相对定量方法，是目前常用的定量分析方法。 Ci＝Ii/Si/（ΣIj/Sj） 由XPS提供的定量数据是以原子百分比含量表示的，而不是我们平常所使用的重量百分比。这种比例关系可以通过下列公式换算： 式中 ciwt - 第i种元素的质量分数浓度； ci- 第i种元素的XPS摩尔分数； Ai- 第i种元素的相对原子质量。 3.6 化学价态分析 表面元素化学价态分析是XPS的最重要的一种分析功能，也是XPS谱图解析