多层膜磁性能研究.pdfVIP

第44 卷 第7 期 稀有金属材料与工程 Vol.44, No.7 2015 年 7 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING July 2015 Ta/[NdFeB/Nd] /Ta (n=1, 5, 8, 10) 多层膜磁性能研究 n 张敏刚，李敏杰，刘 丽，刘文峰，陈峰华 (太原科技大学，山西 太原 030024) 摘 要：采用磁控溅射法制备了Ta/[NdFeB/Nd] /Ta （n=1 ，5 ，8 ，10）多层膜。采用X 射线衍射仪、振动样品磁强计及原子力 n 显微镜对薄膜样品的晶体结构、磁学性能及表面形貌进行了测试分析；并对薄膜的温度稳定性进行了测试。结果表明，在NdFeB 与Nd 的总厚度保持不变的情况下，随NdFeB/Nd 层数的增加薄膜的矫顽力先增大后减小，其中n=8 时样品磁性能最好。最佳 3 磁性能为Hci=1995 kA/m ，(BH)max=111.3 kJ/m 。 关键词：永磁薄膜；相结构；矫顽力；磁能积 中图法分类号：TM273 文献标识码：A 文章编号：1002- 185X(2015)07- 1805-04 [1,2] NdFeB 磁性薄膜材料是一种新型的永磁材料 。 情况下，Nd/NdFeB 层数对薄膜磁性能的影响。通过 [3] 由于磁性能突出，其被广泛认为在磁记录 方面具有 对薄膜相结构及磁性能的测定，分析了影响薄膜磁性 巨大的潜在应用价值，故在近几年来得到人们的广泛 能的原因，确定了交替多层膜的最佳层数。并对薄膜 关注。目前，工业规模生产的NdFeB 块体的最高磁能 的温度稳定性进行了研究。 [4] 3 积 已达到了446.1 kJ/m ，然而薄膜的磁能积仅在160 3 [5,6] [7] 1 实 验 kJ/m 左右 ，矫顽力也与理论值的5569 kA/m 相距 甚远，因此如何获得磁性能较好的NdFeB 永磁薄膜成 选用Si 片作为基片，分别用乙醇和丙酮在超声波 [8] 为目前该领域的研究热点 。多层膜的制备是优化 中清洗15 min，而后用蒸馏水反复冲洗，将基片烘干 NdFeB 薄膜磁性能的一种重要方法。NdFeB 与其他物 后直接放入溅射室内。采用磁控溅射法在氩气保护下 质交替作用可改善纳米复合永磁材料的内禀磁特性[9] 制备 Ta/[NdFeB/Nd] /Ta （n=1 ，5 ，8 ，10）多层膜。 n 和微结构，进而提高薄膜的磁性能。