电子背散射衍射(EBSD)及其在材料研究中的应用.pdfVIP

第35卷 第3期 稀有金属材料与工程 、，01．35．NO．3 2006芷 3月 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERING March2006 陈绍楷，李晴宇，苗 壮，许 飞 (话北有色金属研究院，陕西西安710016) 摘 要：论述了电子背散射衍射(EBSD)的形成原理、花样包含的物理意义，并给出了EBSD在测定晶体取向、织构、 取向关系、物相鉴定、应变分布、晶格常数及晶界性质研究等方面的应用实例。 关键词：电子背散射衍射(EBSD)；晶体取向：织构 中图法分类号：TGll5．23 文献标识码：A 文章编号：1002—185X(2006)03—0500—05 与接收屏的交截线，如图1所示。一幅电子背散射衍 1 前 言 电子背散射衍射(EBSD)的历史应追朔至1928 年Kikuchi在透射电镜中观察到的条带状衍射花样，经CCD数码相机数字化后传送至计算机进行标定与 即菊池线，不过这种菊池线是透射电子形成的。直到 纳米深度的一个薄层。更深处的电子尽管也可能发生 1954年，Alam，Blackman和Pashley同样利用透射电 布拉格衍射，但在进一步离开样品表面的过程中可能 镜，用胶片记录了解理LiF，KI，NaCl，PbS2晶体的 大角度菊池花样，这是第一次严格意义上的电子背散 再次被原子散射而改变运动方向，最终成为EBSP的 射衍射。1973年，Venables和Harland在扫描电镜上背底。因此，电子背散射衍射是一种表面分析手段。 用电子背散射衍射花样对材料进行晶体学研究，开辟 其次，样品之所以倾斜700左右是因为倾斜角越大， 了EBSD在材料科学方面的应用。20世纪80年代后背散射电子越多，形成的EBSP花样越强。但过大的 倾斜角会导致电子束在样品表面定位不准，降低在样 期，Dingley使用荧光屏和电视相机接收与采集电子背 散射衍射花样。20世纪90年代，实现了花样的自动品表面的空间分辨率等负面效果，故现在的EBSD都 标定。随着数码相机、计算机和软件的快速发展，现 将样品倾斜700左右。 在的商品EBSD实现了从花样的接收、采集到标定完 全自动化[1】。每秒能获得多于100帧的菊池花样及标 定结果，广泛用于地质、微电子学、材料科学等方面。 2 EBSD的形成原理及其包含的物理含义 电子背散射衍射仪一般安装在扫描电镜或电子探 针上。样品表面与水平面呈700左右。当入射电子束 进入样品后，会受到样品内原子的散射，其中有相当 部分的电子因散射角大逃出样品表面，这部分电子称 为背散射电子。背散射电子在离开样品的过程中与样 品某晶面族满足布拉格衍射条件2dsinO=2的那部分 图1 EBSD的形成原理… FormationofEBSD【1 电子会发生衍射，形成两个顶点为散射点、与该晶面 Fig．1 principle 族垂直的两个圆锥面，两个圆锥面与接收屏交截后形 成一条亮带，即菊池带。每条菊池带的中心线相当于 电子背散射衍射花样包含4个与样品有关的信 发生布拉格衍射的晶面从样品上电子的散射点扩展后 息：晶体对称性信息；晶体取向信息；晶体完整性信 收稿日期：2005．03．03 skchen@x263．net 万方数据 第3期 陈绍楷等：电子背散射衍射(EBSD)及其在材料研究中的应用 息；晶格常数信息。图2为作者获得的一张典型EBSP信息，晶体越完整，布拉格衍射强度越高，形成的菊 花样。花样上包