SiC电力电子器件简介.pptVIP

氧化技术 Page ? * 其他工艺技术 表面处理技术 光刻技术 互连技术 隔离技术 Page ? * Page ? * 内容提要 第一部分 碳化硅材料概述 第二部分 碳化硅器件工艺技术 第三部分 未来发展趋势 第四部分 碳化硅电力电子器件 技术趋势 Page ? * 市场趋势 Page ? * Page ? * 谢 谢 ！ * 宣讲结束。谢谢大家！ Page ? * Page ? * 内容提要 第一部分 碳化硅材料概述 第二部分 碳化硅器件工艺技术 第三部分 未来发展趋势 第四部分 碳化硅电力电子器件 什么是碳化硅 一种宽禁带化合物半导体材料 一种应用前景巨大地极端电子学材料 Page ? * 在高温、辐照环境等条件下使用 在超高压和超高电流密度电子系统中使用 在超高功率-频率指数电子系统中使用 Ⅳ-Ⅳ族二元化合物，也是Ⅳ族元素中唯一一种固态化合物 禁带宽度为3.02eV（6H-SiC） 什么是碳化硅 一种高热导率、高临界击穿电场、高载流子饱和漂移速度的先进半导体材料 Page ? * 热导率为5W/cm ·K，是硅材料的三倍以上 临界雪崩击穿电场为2.5MV/cm ，是硅材料的十倍以上 载流子饱和漂移速度为2 × 107cm/s ，是硅材料的两倍 什么是碳化硅 一种热稳定性高的半导体材料 一种高硬度、高耐磨性的晶体 一种化学性质稳定的化合物 Page ? * 常压下，不可能熔化SiC；在高温下（2000 ℃ ），SiC升华分解为碳和含硅的蒸气 碳化硅的莫氏硬度为9.2-9.3，仅次于金刚石 碳化硅的耐磨系数为9.15，仅次于金刚石 可与氧气反应形成氧化物，通常氧化温度在1200 ℃以上 在高温下（900 ℃），能与Cl2等发生化合反应 能溶解于熔融的氧化剂中，如Na2O2 一种具有同质多型的晶体 一种具有丰富颜色信息的晶体 什么是碳化硅 Page ? * 晶体结构包括闪锌矿结构和菱形结构（ α-SiC）、纤锌矿结构（ β-SiC），已经被证实的多型超过200种 不同的多型具有不同的颜色 将氮掺入SiC中具有不同的颜色 碳化硅材料基本特性列表 Page ? * 碳化硅材料能做什么 Page ? * 大功率LED照明领域 碳化硅材料能做什么 Page ? * 大功率电力电子器件 材料 器件 应用 Page ? * 碳化硅材料能做什么 珠宝 碳化硅材料能做什么 Page ? * 磨料、磨具 化工 耐磨、耐火和耐腐蚀材料 有色金属 钢铁 建材陶瓷砂轮工业 冶金选矿 电力电子器件选择碳化硅 Page ? * Page ? * 电力电子器件选择碳化硅 Page ? * 电力电子器件选择碳化硅 Page ? * 内容提要 第一部分 碳化硅材料概述 第二部分 碳化硅器件工艺技术 第三部分 未来发展趋势 第四部分 碳化硅电力电子器件 碳化硅器件发展历程 Page ? * 　　1905年 第一次在陨石中发现碳化硅 　　1907年 第一只碳化硅发光二极管诞生 　　1955年 理论和技术上重大突破，LELY提出生长高品质碳化概念，从此将SIC作为重要的电子材料 　　1958年 在波士顿召开第一次世界碳化硅会议进行学术交流 　　1978年 六、七十年代碳化硅主要由前苏联进行研究。到1978年首次采用“LELY改进技术”的晶粒提纯生长方法 　　1987年～至今以CREE的研究成果建立碳化硅生产线，供应商开始提供商品化的碳化硅基电力电子器件 电力电子器件总揽 Page ? * 肖特基二极管（SBD、JBS） 开关器件 双极型二极管 IGBT SiC电力电子器件 整流器件 PIN 单极晶体管 双极晶体管 MOSFET JFET BJT,GTO Page ? * SiC肖特基二极管 衬底 漂移区 阳极 阴极 终端保护结 Page ? * SiC肖特基二极管 SiC JFET Page ? * SiC MOSFET Page ? * Page ? * SiC MOSFET SiC IGBT Page ? * Page ? * 内容提要 第一部分 碳化硅材料概述 第二部分 碳化硅器件工艺技术 第三部分 未来发展趋势 第四部分 碳化硅电力电子器件 外延技术 Page ? * SiC 衬底 SiC 外延 刻蚀技术 Page ? * 干法刻蚀 SiC 衬底 SiC 外延 掺杂技术 Page ? * 高温离子注入 SiC 衬底 SiC 外延 Al 钝化技术 Page ? * SiC 衬底 SiC 外延 表面钝化 金属化技术 Page ? * SiC 衬底 SiC 外延 肖特基 欧姆接触 * 宣讲结束。谢谢大家！