SIMS分析技术及其在黄铁矿原位微区分析微量元素测定应用.pdfVIP

( 、 ) 中山大学研究生学刊 自然科学 医学版 34 1 JOUＲNAL OF THE GＲADUATES VOL. 34№ 1 第 卷第 期 2013 SUN YAT-SEN UNIVEＲSITY (NATUＲAL SCIENCES 、MEDICINE) 2013 SIMS 分析技术及其在黄铁矿原位微区 * 分析微量元素测定的应用 虞鹏鹏1 ，2 ，3 ( 1． 广 东省地质过程与矿产资 源探查重点实验室 ，广州 510275 2 ． 中山大学地球科 学系，广州 510275 3． 中山大学地球环境与地球资 源研究 中心，广州 510275) 【 】 ( Secondary-ion mass spectrometry ，SIMS) 内容提要 离子探针 是一种 固体 原位微区分析技术 ，具有 高分辨率 、高精度 、高灵敏等特征 ，广泛应 用于地球 化学 、天体化学、半导体工业、生物等研究 中。本文主要 阐明 了 SIMS 技 术 的 原理 、类型及其特点，综述了在地球科 学方面的某些研究 ，对 比了不 同微区分 析技术的特 点，最后 ，介绍 了 SIMS 技 术在 黄铁 矿微 量元 素原位微区 分析 的 应用。 【 】 ; ; ; ; 关键词 离子探针原理 地球化学 天体化学 原位微区分析 黄铁矿 (Secondary-ion mass spectrometry ，SIMS) ， 二次离子质谱仪 也称离子探针 是一种 使用离子束轰击的方式使样品电离， ， 进而分析样品元素同位素组成和丰度的仪器 是一 、 、 。 ppm-ppb ， 种高空间分辨率 高精度 高灵敏度的分析方法 检出限一般为 级 空间分辨 ， 。 、 、 率可达亚微米级 深度分辨率可达纳米级 被广泛应用于半导体工业 矿物地质研究 、 。 SIMS 。 天体研究和生物 细胞研究中 本文主要探究 在地球科学方面的应用 1 SIMS 分析技术 1. 1 原理 ， : 离子探针实际上就是固体质谱仪 它由两部分组成 主离子源和二次离子质谱分析 。 (O － / O + ) (Cs + ) 。 仪 常见的主离子源有气体氧 2 和金属铯 源 主离子源离子在几千 ，