共蒸发法制备CIGS薄膜过程研究-FDUROP.DOCVIP

课题的目的和意义 当前，人类社会赖以发展的能源近80%是不可再生的化石能源。面对日益严重的能源危机和大量使用化石能源所带来的环境污染，开发清洁的可再生能源已成为人类必须解决且受到广泛关注的问题。水能、风能、核能、地热能、太阳能等都具有一定的发展空间，其中太阳能除了具备无污染、用之不竭的基本特点外，相比其他清洁的可再生能源，还具有地域限制小、能量来源简单等特点，是最具希望的能源之一。 实现太阳能的实际利用，要求保证能量转换效率，且必须尽可能降低太阳能电池的制造成本。薄膜太阳能电池可以极大减少价格相对昂贵的半导体材料，同时电池材料制备和电池形成同时完成，节省了制作工序，故其在节约成本方面有较大优势。目前，薄膜太阳能电池有硅薄膜太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池、有机薄膜太阳能电池等多种类别。本课题研究的CIGS电池是一种多元化合物电池，相比而言，其具有成本低、性能稳定、抗辐射能力强、光电转换效率高的综合优势，是最有前途的太阳能电池之一。[1] CIGS电池的核心是铜铟镓硒薄膜，其制备目前主要有多元分步共蒸发法和金属预置层后硒化法两种技术路线，本课题围绕多元分布蒸发法的基本蒸发过程展开研究，力图探明影响蒸发过程的各种因素及其对蒸发过程造成影响的规律，给实际制备高质量的铜铟镓硒薄膜提出理论支持与指导，从而有效提高电池光电转换效率。由于未来可能的批量化生产将可能使用大面积的基底，在这种情况下需要综合考虑均匀度和产率两个因素，因此本课题还具有丰富的实际意义。 课题研究状况 从20世纪70年代起，CIGS电池材料的研究在世界范围内获得迅速发展。以共蒸发法制造CIGS电池，各个元素比例可以在蒸发过程中调节，薄膜材料晶相结构好。2006年，美国NREL以共蒸发工艺研制的CIGS单体电池转换效率达19．5％，已能够与硅光电池转换效率相比，创下了薄膜太阳电池的世界纪录。瑞典、日本、韩国的有关研究机构由此方法制备的CIGS电池效率均已超过17％。[2]而共蒸发法的技术难点则在于要求精确控制每种元素蒸发速率及蒸发量，对于实现工业化还需要保证大面积沉积的均匀性。 由于CIGS电池被视为最具前途的太阳能电池之一，高效的CIGS电池将带来巨大的经济效益，故其生产的核心技术在国际上目前处于保密状态。同国际水平相比，无论是研发时间与历史、研究力量、研究公司的数量，还是实际达到的光电转换效率以及成品率，国内均存在较大差距，目前达到的实验室最高转换效率仅为13%左右。同时，国内相关的基础研究水平较低，影响基本蒸发过程的各种因素及其影响规律仍没有得到充分阐明，精确控制蒸发过程还存在较大的技术难度。 三、课题主要内容与基本思路，难点和创新点 要提高太阳能电池的效率，主吸收层铜铟镓硒（CIGS）的质量至关重要。理想的CIGS层应做到厚度、各元素配比均匀，并且如果能做到元素比例在厚度方向的差异（一般采用调节Ga/（Ga+In）实现），形成禁带宽度的纵向梯度，则可以在更大范围内吸收太阳光，大幅提高太阳能电池的效率。[3]CIGS的特性决定了其广阔的发展空间，同时也决定了其制作工艺的复杂性。本课题的主要研究内容就在于结合具体的设备情况，利用经典的气体分子理论，研究蒸发过程的特点，摸索蒸发过程的控制方法，从而提高CIGS薄膜的质量，最终提高太阳能电池的效率。 （一）、要保证薄膜的均匀性，则必须了解蒸发过程中各种因素对于蒸发速率分布的影响。研究表明，对于满足特殊条件的理想蒸发源（Knudsen Cell），蒸发物质流量将满足余弦分布率。而对于实际的圆筒蒸发源，其流量的分布将正比于cosnθ，其中θ为测量位置和喷嘴连线与对称轴的夹角，如图2所示。[4]实际生产过程中，对应于不同条件下的n都是未知的，需要实验测量。结合实验设备，考虑共蒸发过程，对n产生影响的因素可能包括温度、物质种类、蒸发源的几何参数、蒸发源的倾角等，此外由于随着蒸发的进行，蒸发源内液面的高度也会发生变化，从而n也会随时间发生变化。所有这些因素都增加了制备过程调控的难度，由于问题比较复杂，具体的计划将根据制备的需要、实验条件等因素来确定。 对上述问题的研究，基本的思路是在设备的基底位置均匀地放置一组基底，经过一段时间的蒸发后测量不同位置基底上沉积物质的厚度，从而分析得出确定蒸发条件下蒸发强度的角分布情况。通过对比不同蒸发条件下分布的差异，将可以获得许多对制备过程至关重要的信息。 本内容的难点在于影响因素众多，需要全局的看待问题，找出特殊条件下的主要影响因素。此外由于实验设备等因素的限制，决定了难以获得全面的数据，因此需要更多地从理论上进行分析，再与有限的实验数据进行对比。 （二）、为了深化对蒸发过程的理解，只停留在对实验数据的分析上是远远不够的，还需要从经典的气体分子动理论的角度对问题进行研究，必要的时候可以借助计算