流延法制备陶瓷基板的研究-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 流延 法制备 陶瓷基板 的研 究 , , 汉 , 体 曹 峻 张擎 雪 庄 锐 乌 凤 英 中 国科 学院 上 海 硅 酸 盐研 究 所 , 上 海 尺 、 料流 类 型 、 干 、 机 面对流延法 基板 摘 要 从颗粒 寸 浆 体 燥条件 排胶 制等方 制备 陶瓷 , 尺 到 用 于 展开 了较为系统 的研 究 结果表 明 颗粒 寸 的不 同直接影 响 浆料粘度及分散剂 量 适 流延成型 的浆料流体类型属 于假塑性流体 保持一 定 的溶剂气氛有利于获得表面平整光 滑 的流延素坯膜 二次排胶有利于排 除 流 延素坯膜 中的残余碳 烧结后基板 的断 口 照 片表 明晶粒发育较为完善, 无 明显开气孔 , 断裂模式为沿 晶断裂 关 键 词 氮化铝基板 , 流 延成型 , 假塑性流体 , 二次排胶 , 沿 晶断裂 中图分类号 文献标识码 引言 氮 化 铝 陶瓷具备优 异 的综合 性 能 , 是近年来 受到 广泛 关注 的新一代先进 陶瓷 , 在 多方面 都有着广泛 的应用前景 尤 其是其具有高热导率 、 低介 电常数 、 低介 电损耗 、 优 良 的 电绝 缘性 、 与硅 相 匹配 的热膨胀 系数及 无 毒性等优 点 , 使之 成 为 高密度 、 大功 率和 高速 集成 电路基板 和 封装 的理 想材料 , 】美 国先进 陶瓷协会 预计 , 到 年 , 仅用 于 电子 产 品就有 亿美元 的市场 , 其 中半导体 的封 装 占 和 其 它 常见 的陶瓷一样 , 氮化铝 陶瓷 的成 型方法有干压 成 型 、 注 浆 成 型 、 等静压成 型 、 压 延成 型 、 注 射成 型及 流 延成 型 等 流 延成 型 是 一种很好 的制 备层 状 陶瓷薄膜 的工 艺 它 最 大 的特 点就 是 能廉价 制 备大面积 陶瓷膜 , 且 易于 实现 生 产 的连 续化 和 自动化 因此 , 的流 延成型 已经 成 为人 们关注 的热 点 美 、 日两 国在 研 究上属 于 领 先地 位 , 但对 工 艺方 法相对保 密 九十年代 以来 , 等人 、 等人 、