特定折射率材料及光学薄膜制备-中国光学.PDFVIP

第远卷摇 第远期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援远摇 晕燥援远 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员猿年员圆月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 阅藻糟援圆园员猿 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员猿冤园远鄄园怨园园鄄园远 特定折射率材料及光学薄膜制备 申振峰 渊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室袁吉林长春员猿园园猿猿冤 摘要院根据太阳电池阵激光防护膜性能优化的需要袁应用离子辅助电子束双源共蒸工艺方法制备了优化设计所需的特定 折射率的薄膜材料并用于制备激光防护膜遥 测试结果显示院用该工艺方法制备的掺杂材料薄膜的折射率灶越员郾苑缘袁与优 化设计所需数值相符曰激光防护膜性能优良袁太阳辐射能透过率提高远豫以上袁实现了对该激光防护膜性能的进一步优 化遥 为了使该双源共蒸方法适于大面积薄膜的制备袁应用均匀性挡板技术来提高该方法制备大面积薄膜的膜厚均匀性袁 使制备的掺杂材料薄膜在口径为源园园皂皂时的不均匀性小于圆郾员豫遥 该双源共蒸方法制备工艺简单尧可靠袁适于实际工 程应用遥 薄膜性能测试结果与理论优化结果相符袁达到预期优化目标遥 关摇 键摇 词院薄膜材料曰激光防护膜曰折射率曰掺杂曰双源共蒸 中图分类号院韵源愿源援员摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员猿园远园远援园怨园园 孕则藻责葬则葬贼蚤燥灶燥枣泽责藻糟蚤枣蚤糟则藻枣则葬糟贼蚤增藻蚤灶凿藻曾皂葬贼藻则蚤葬造 葬灶凿燥责贼蚤糟葬造贼澡蚤灶枣蚤造皂泽 杂匀耘晕在澡藻灶鄄枣藻灶早 渊运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣韵责贼蚤糟葬造杂赠泽贼藻皂粤凿增葬灶糟藻凿酝葬灶怎枣葬糟贼怎则蚤灶早栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁 悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁 悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院扎枣赃泽澡藻灶岳 员远猿援糟燥皂援糟灶 粤遭泽贼则葬糟贼院粤皂葬贼藻则蚤葬造憎蚤贼澡泽责藻糟蚤枣蚤糟则藻枣则葬糟贼蚤增藻蚤灶凿藻曾蚤泽责则藻责葬则藻凿葬糟糟燥则凿蚤灶早贼燥贼澡藻则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼枣燥则贼澡藻责则藻责葬则葬贼蚤燥灶 燥枣贼澡藻造葬泽藻则责则燥贼藻糟贼蚤增藻糟燥葬贼蚤灶早枣燥则泽燥造葬则葬则则葬赠泽援 陨灶贼澡蚤泽皂藻贼澡燥凿袁憎藻葬责责造赠贼澡藻藻造藻糟贼则燥灶遭藻葬皂糟燥鄄藻增葬责燥则葬贼蚤燥灶贼藻糟澡鄄 灶蚤择怎藻遭葬泽藻凿燥灶凿燥责藻凿皂葬贼藻则蚤葬造责则藻责葬则葬贼蚤燥灶皂藻贼澡燥凿泽援 栽藻泽贼泽泽澡燥憎贼澡葬贼贼澡藻则藻枣则葬糟贼蚤增藻蚤灶凿藻曾燥枣贼澡藻凿燥责藻凿皂葬贼藻则蚤葬造 蚤泽员郾苑缘袁葬糟糟燥则凿蚤灶早憎蚤贼澡贼澡藻则藻泽怎造贼燥枣燥责贼蚤皂蚤扎藻凿泽糟澡藻皂藻援 栽澡藻皂葬贼藻则蚤葬造蚤泽贼澡藻灶怎泽藻凿蚤灶贼澡藻责则藻责葬则葬贼蚤燥灶燥枣燥责贼蚤糟葬造 贼澡蚤灶枣蚤造皂泽贼燥葬糟澡蚤藻增藻葬枣怎则贼澡藻则燥责贼蚤皂蚤扎葬贼蚤燥灶燥枣贼澡藻造葬泽藻则责则燥贼藻糟贼蚤增藻糟燥葬贼蚤灶早责则燥责藻则贼蚤藻泽援 韵遭贼葬蚤灶藻凿造葬泽藻则责则燥贼藻糟贼蚤增藻 糟燥葬贼蚤灶早澡葬泽藻曾糟藻造造藻灶贼责则燥责藻则贼蚤藻泽葬灶凿蚤贼泽泽燥造葬则则葬凿蚤葬贼蚤燥灶贼则葬灶泽皂蚤贼贼葬灶糟藻蚤泽蚤灶糟则藻葬泽藻凿遭赠皂燥则藻贼澡葬灶远豫援 栽澡藻枣蚤造皂 贼澡蚤糟噪灶藻泽泽皂葬泽噪贼藻糟澡灶燥造燥早赠蚤泽葬责责造蚤藻凿贼燥蚤皂责则燥增藻贼澡藻枣蚤造皂