等离子体增强化学气相沉积中对尘埃颗粒诊断.PDFVIP

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2018-08-18 发布于天津
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等离子体增强化学气相沉积中对尘埃颗粒诊断

第卷第期强激光与粒子束 , 25 5 Vol.25 No.5 年月 , 2013 5 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Ma 2013 y 文章编号: ( ) 1001-4322201305-1283-05 等离子体增强化学气相沉积中对尘埃颗粒诊断* , 12 1 1 吴静 , 姚列明 , 薛雷 ( , ; , ) 1.电子科技大学物理电子学院成都 610054 2.核工业西南物理研究院成都 610041 : , , 摘要采用和在射频容性耦合柱状放电室中产生了尘埃颗粒利用发射光谱测得射频 SiH CH Ar 4 2 4 , 尘埃等离子体放电室中的一些基本碎片的发射光谱并给出了这些碎片的光发射强度随着实验条件变化的曲。 , , , 线随着功率和气压的增加碎片的光发射强度逐步增加尤其是随功率增加得更快这说明功率对硅烷和乙。 , 。烯的离解作用明显随着硅烷和乙烯流量的增加碎片的光发射强度随之下降利用朗缪尔探针的实验结果 , , 得出尘埃密度的变化趋势给出了尘埃密度随射频功率变化的曲线其结果与硅烷和乙烯的离解变化趋势基本吻合。 : ; ; ; 关键词尘埃等离子体射频放电朗缪尔探针发射光谱中图分类号: 文献标志码: : / O539 A doi10.3788HPLP1283 年, 等首先利用了激光散射法在射频( )放电中观测到尘埃颗粒聚集在等离子体鞘层 1985 R.M.Roth RF , , , , , 边界附近随后 G.S.Selw n等利用激光散射法也观察到此现象 D.B.Graves等证实在直流和射频放电中 y [ ] 1-4 。