ＧＣｒ１５轴承钢多周期（Ｎ，Ｔｉ）等离子体基离子注入层的成分、组织结构及耐磨性.pdfVIP

金属热处理学报 (增刊) 第七次全国热处理大会专辑 GCrl5轴承钢多周期 (N,Ti)等离子体基 离子注入层的成分、组织结构及耐磨性 马欣新 车仁超 孙 跃 夏立芳 赵康令 (哈尔滨工业大学) (哈尔滨轴承r 摘 要 利用等离子体基离子注入，采用磁控溅射沉积Ti与等离子体源离子注入N交替 进行的方法，在GCr15轴承钢表面形成多周期 (KTi离子注入混合层。通过XPS分析研 究该层的成分和化学价态，用丁EM分析改性层的组织结构，并对该层与多弧离子镀形成的 TiN 层对磨的摩擦性能进行了研究。结果表明，表面改性层成分均匀。改性层与基体之间 形成良好的成分过渡，表面改性层由a-Ti基体上分布的弥散TiN 组成。经过此方法处理的 Gcrl5钢与多弧离子镀TiN层对磨，具有良好的耐磨性r 关键词 等离子体基离子注入 离子注入 显微结构 轴承钢 与传统的离子注入技术相比，等离子体源离子注入技术((PSII)具有非常多的优点，突 出的优点之一就是它可以对形状复杂的零件在低温下进行处理川 为 了扩大等离子体源离 子注入的应用范围，克服只能进行气体元素离子注入的缺点，多种表面改性方法已与等离 子体源离子注入结合起来，形成等离子体基离子注入 (PBII) 例如将多弧离子镀技术、磁 控溅射离子镀技术、电子束蒸镀技术或多束离子注入技术等与其结合形成等离子体基离子 注入技术阳’了，在等离子体源离子注入机的真空室器壁上安放磁控溅射靶，通过选择不同 的靶材，不同成分的物质可以沉积在工件表面，通过改变注入气氛，可以在工件表面形成 不同元素的注入混合层[;,u.}z1通过交替进行沉积与注入的过程，可以得到较厚的注入混合 层 本文主要采用磁控溅射沉积 Ti和等离子体源离子注入 N 交替进行的方法，右 GCrl5 表面形成厚度达 1.54m的等离子体基A子注入混合层，然后对改性层的成分、组织和摩擦 磨损特性进行分析 试验万法 试验样品采用直径为杯mm的成品轴承钢钢球和中1()mnixIOmm的轴承钢滚珠成分(，、%) 为C1.0.Cr1.55,Mn0.30,Si(1.30,样品回火温度为 1500C.硬度为6341RC.用J几XPS 分析的样品采用金相抛光至镜面。试样经过严格清洗后放入真空室中，对样品和磁拧溅别 靶进行氢离子轰击清洗后进行等离子体基离子注入处理 采用不平衡磁拧溅射方式对样品 本文联系人:马欣新，男，1965年6月生，副教授，哈尔滨市 (150001)哈尔滨工业大学433信箱 166 沉积认，控制每次的沉积厚度为G0nm，采用N离子注入的电压为50kV，脉冲宽度30)1s. 重复频率50Hzr控制每次离子注入N的剂量为 1x10N/cmz。交替进行沉积认和注入N 可以获得较厚的离子注入混合层。用此方法得到的表面改性层不同于常规离子镀获得的TiN 层，称其为离子注入混合 (N,Ti)层。表面改性层的成分采用PHI-5700型X射线光电子 能谱进行测量，刻蚀面积为4mmx4mm，刻蚀速率为3nn1/min。采用 PhilipsCM12型透射 电镜进行改性层的组织分析。销盘摩擦磨损试验条件为载荷 2N，转速27r/min，轨道直径 40mm，大气下干摩擦，其中球经过表面改性处理，盘为经过多弧禽子镀处理TiN层 2结果和讨论 2.1 (N.丁i)离子注入混合层的XPS成分分析 图1为单周期沉积钦和注入N所获得的离子注入 (N,Ti)混合层的XPS成分分布曲线 从此曲线可以看出，混合层的厚度约为100nm，在最外表面，0的含量很高，这可能是由 于长时间在空气中存放所造成的。当增加Ar的刻蚀时间，O的含量逐渐降低。在改性层与 基体的交界处，0已不存在，但T.和N的含量仍然很高，在基体的一侧，随着Fe含量的 增加，Ti和N的含量减少，这一成分渐变的区域为过渡区，可见等离子体基离子注入混合 处理的过渡区约有 45nm 厚 由于在等离子体基离子注入过程中，氮离子可以是单原f的 离子，也可以是双原子的离子，氮离子的能量不是单一的能量，存在着各种能量，因此得 到的浓度分布与束线式离子注