MBO缓蚀膜中Cu的价态及成膜机制【精品论文】.pdfVIP

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  • 2017-12-21 发布于浙江
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MBO缓蚀膜中Cu的价态及成膜机制【精品论文】.pdf

MBO缓蚀膜中Cu的价态及成膜机制【精品论文】

第 l3卷 第 1期 腐蚀科学与防护技术 V0】.I3No.1 2001年 L月 CORROSION SCIENCEANDPROTECTION TECHNOLOGY Jan.2001 MBO缓蚀膜中Cu的价态及成膜机制 严川伟 林海潮 曹楚南 (金属腐蚀与防护国家重点实验室 中国科学院金属研究所 沈阳文萃路62号 I]0016) 摘 要 用光电子能谱 (XPS)、红外光谱 (IR)和扫描隧道显微镜 (STM),对 c 在含 Naa 的 2一琉基苯并嚼唑 (MBO)溶液中处理后,其表面所形成的缓蚀膜进行了研究.缓蚀膜的Cu2p3/2结合能值为932.3eV。在Cu2p32/和 Cu2p1,2之问没有 “卫星峰”存在,且俄歇峰CuLMM 的结合船为3376eV,表现了典型的一价c 化合韧的特征 该 缓蚀膜的红外光谱与MB0的一价c 的合成化合物的红外谱图相一致.在形成缓蚀膜前后,Nls和s2p的结合静 变化显著,表明MBo分子可能通过S和N原于与一价铜离

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