013微米铜互连工艺派工系统控制等待时间和降低缺陷的研讨.pdfVIP

目录 摘要……………………………………………………………1 Abstract．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．：} 第一章绪论………………………………………………………．3 1．1引言…………………………………………………………．3 1．2铜互连工艺的基本概念……………………………………………5 1．3派工系统介绍…………………………………………………．．7 1．4本论文的内容安排………………………………………………．9 第二章铜互连工艺中典型的与等待时间有关缺陷的研究…．。…………………．10 2．1引言…………………………………………………………10 2．2氟化硅玻璃的结晶状缺陷…………………………………………10 2．2．1低K材料氟化硅酸盐玻璃……………………………………．．10 2．2．2结晶缺陷…………………………………………………．12 2．3电镀铜金属连线的腐蚀…………………………………………．．15 2．3．1电镀铜互连的主要工艺………………………………………．15 2．3．2铜金属连线的腐蚀……………………