洁净技术--防静电知识之EOS与ESD的区别洁净技术--防静电知识之EOS与ESD的区别.pdf

洁净技术--防静电知识之EOS 与ESD 的区别 一、什么是EOS？ EOS 为Electrical Over Stress 的缩写，指所有的过度电 性应力。当外界电流或电压超过器件的最大规范条件时，器件 性能会减弱甚至损坏。 EOS 通常产生于 1.电源(AC/DC) 干扰、电源杂讯和过电压。 2.由于测试程序切换（热切换）导致的瞬变电流/峰值/低频干 扰。其过程持续时间可能是几微秒到几秒（也可能是几纳秒）， 很短的EOS 脉冲导致的损坏与ESD 损坏相似。 3.闪电。 4.测试程序开关引起的瞬态/毛刺/短时脉冲波形干扰。 5.测试设计欠佳，例如，在器件尚未加电或已超过其操作上限 的情况下给器件发送测试信号。再比如在对器件供电之前加入 测试信号，或超过最大操作条件。 6.来自其它设备的脉冲信号干扰，即从其它装置发送的脉冲。 7.不恰当的工作步骤，工作流程不甚合理 8.接地点反跳（由于接地点不够导致电流快速转换引起高电 压） 二、什么是ESD？ ESD 是英文Electrical Static Discharge 的缩小，中文释为 静电放电。电荷从一个物体转移到另一个物体。静电是一种客 观的自然现象，产生的方式多种，如接触、摩擦等。静电的特 点是高电压、低电量、小电流和作用时间短的特点。人体自身 的动作或与其它物体的接触，分离，摩擦或感应等因素，可以 产生几千伏甚至上万伏的静电。静电在多个领域造成严重危 害。摩擦起电和人体静电是电子工业中的两大危害。生产过程 中静电防护的主要措施为静电泄露、耗散、中和、增湿，屏蔽 与接地。人体静电防护系统主要有防静电手腕带，脚腕带，工 作服、鞋袜、帽、手套或指套等组成，具有静电泄露，中和与 屏蔽等功能。静电防护工作是一项长期的系统工程，任何环节 的失误或疏漏，都将导致静电防护工作的失败。 三、对比区别 EOS ESD 典型地, 由电源和测ESD 属于EOS 的特例， 试设备产生 有限的能量, 由静电 荷引起 事件持续时间在微秒 事件持续时间在微微 ~秒级. (也可能是毫 秒~毫微秒级 微秒) 损坏的现象包括金属 其可见性不强损坏位 线熔化、发热、高功 置不易发现, 率、闩锁效应 短的 EOS 脉冲损坏看通常导致电晶体级别 起来像ESD 损坏 的损坏。 四、静电防护 1.设定静电区域 说明:在生产现场设定静电敏感区域，并且要做明显警示， 使到现场的每个人都能注意。 2、静电区域内注意事项 a.操作者应该佩戴防静电腕带，应该穿着防静电服装，鞋， 围巾，椅子应该套防静电套。（一端与人体接触，另一端与地 线相连） b.有可能放置PBA 的区域内要贴防静电桌布，并且要联结 防静电接地扣。 c.静电区域内所有的物品静电不能超过100V静电区域内 的容器应该用防静电材料的，若静电区域内的物品的静电电压 超过100V 时，这是应该采用去离子风机消除物体表面静电。 注：不可在防静电区域内放置与生产活动无关的物品。 3.环境湿度要以50%~60%左右 2.ESD 防护五点谈 摘要：近年来随着微电子技术的广泛应用，ESD 问题越来越严 重，企业也越来越重视对ESD 的防护。本文从人、机、料、环、 法等五个方面来谈ESD 的防护。 ESD 英文为ElectroStatic Discharge 即静电放电的意 思。我们都知道，不同物质的接触、分离或相互摩擦，即可产