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版图设计培训_雷鉴铭
版图设计基础
雷鑑铭 博士
武汉集成电路设计工程技术研究中心
华中科技大学电子科学与技术系
国家集成电路人才培养基地
武汉集成电路设计工程研究技术中心
2005年6月
版图设计
• CMOS集成电路中的元件
• 版图设计规则(Topological Design Rule)
• 版图设计准则(‘Rule’ for performance)
• 版图电路分析(以COMPASS 自带的
1.2um CMOS标准单元库为例)
武汉集成电路设计工程研究技术中心
第一课
武汉集成电路设计工程研究技术中心
CMOS集成电路中的元件
• MOS晶体管
– 版图和结构
– 电特性
– 隔离
– 串联和并联
• 连线
• 集成电阻
• 集成电容
• 寄生二极管和三级管
武汉集成电路设计工程研究技术中心
CMOS集成电路中元件
• MOS晶体管
• 连线
– 连线寄生模型
– 寄生影响
• 集成电阻
• 集成电容
• 寄生二极管和三级管
武汉集成电路设计工程研究技术中心
CMOS集成电路中元件
• MOS晶体管
• 连线
• 集成电阻
– 多晶硅电阻
– 阱电阻
– MOS 电阻
– 导线电阻
• 集成电容
• 寄生二极管和三级管
武汉集成电路设计工程研究技术中心
CMOS集成电路中元件
• MOS晶体管
• 连线
• 集成电阻
• 集成电容
– 多晶硅-扩散区电容
– 双层多晶硅电容
– MOS 电容
– 多层“夹心” 电容
• 寄生二极管和三级管
武汉集成电路设计工程研究技术中心
CMOS集成电路中的元件
• MOS晶体管
• 连线
• 集成电阻
• 集成电容
• 寄生二极管和三级管
– 衬底PNP BJT
– PSD/NWELL Diode
– NSD/P-epi Diode
武汉集成电路设计工程研究技术中心
MOS 晶体管
• MOS晶体管
– 最基本的有源元件
– 在CMOS工艺中,有PMOS和NMOS两
种
– 可用作跨导元件,开关,有源电阻,
MOS 电容
武汉集成电路设计工程研究技术中心
MOS 晶体管
• NMOS晶体管的 D G S B
版图和结构 W
D
L
G B
NMOS晶体管版图
G
S
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