扫描电子显微成像模拟的并行实现研究.pdfVIP

科学计算213 扫描电子显微成像模拟的并行实现 李会民， 丁泽军z (1．中国科学技术大学，中国科大一中国惠普高性能运算联合实验室，合肥230026) (2．中国科学技术大学，物理系固体微结构研究室，合肥230026) 【摘要】利用Monte Carlo计算方法可以模拟电子束与样品的相互作用过程，从而了解扫描电子显微学中 信号的产生机制。本工作中，我们采用实体结构几何法模型来产生复杂试样的几何构型，利用光线追踪算 法求得散射事件间的步长抽样修正。电子散射的物理模型则采用Mott散射截面描述电子与原子间的弹性相 互作用，以及用介电函数描述电子与固体的非弹性相互作用，同时还考虑到了二次电子的级联产生过程。 我们利用并行计算技术对模拟算法进行了并行化，模拟得到出了若干复杂几何体的二次电子像和背散射电 子像。 关键词：Monte Carlo方法，并行计算，电子散射，扫描电镜成像，实体结构几何法 Abstract：MonteCarlomethodcanbeusedtosimulatetheInteractionofan with