扭摆微镜在阶跃电压驱动下的动态吸合电压分析研究.pdfVIP

厂，邈 电磁、声学 ．√ 扭摆微镜在阶跃电压驱动下的动态吸合电压分析 王婷鲍敏杭周佳黄宜平 复旦大学信息学院微电子学系 200433 摘要：扭摆微镜结构(即微机械扭摆执行器)在显示、光开关和光信号调制等方面有广泛应用．已有 的对扭摆微镜运动的分析都是基于静态电压驱动条件下进行的．由于实际的驱动信号往往是一个阶跃电 压信号，已有的分析有很大的缺陷．本文分析了阶跃电压驱动下扭摆微镜的运动，得到了扭摆微镜的动 态吸合电压vIIlIlI砸d)的解析表式，比较了静态驱动和阶跃驱动情况下吸合电压的差别，并给出了动态吸 合电压和几何参数的关系曲线． 关键词：扭摆微镜阶跃电压驱动动态特性吸合电压 1．引言 扭摆微镜是由微机械加工技术制作的执行器件，近年来微镜及其阵列在光信号处理、投影显示等方面有 着十分广泛的应用。它在静电力驱动下发生快速偏转，具有较高的工作频率和相对大的扫描角度。 对扭摆微镜结构已有一些分析研究工作，但都是在静态电压驱动条件下对扭摆微镜结构的运动状态进行 的分析【l’2】。而对于实际应用中所采用的阶跃电压驱动的分析却未见报导。为此，本文对阶跃电压信号作用