CVD法制备硅基氮化镓薄膜-发光学报.PDFVIP

29 1 Vol29 No1 2008 02 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE Feb. , 2008 : 2008) 0101 204 CVD法制备硅基氮化镓薄膜 1, 2 1, 2 1, 2 1, 3 1, 2* 王连红 , 梁 建 , 马淑芳 , 刘旭光 , 许并社 ( 1. , 030024; 2. 030024; 3. , 030024) : ( CVD), ( Ga O ) ( NH ) 2 3 3 ( GaN ), ( FESEM ) ( EDS)X (XRD) (HRTEM ) ( PL), , , , , S i 367 nm , : ;