基于微机械工艺的平面微电机的研究.PDFVIP

中国科技论文在线 2 .2 2003 6 MICROFABRICAT ION TECH NOLOGY Jun .2003 : 2003) , , , ( , 130022) : 为提高微电机的输出力矩, 增加微电机散热能力和电流密度, 提高电机工作效 率, 设计了一种具有双转子结构的平面微电机两个转子对称分布于定子两侧转 子采用永磁体进行轴向充磁定子为平面线圈, 是采用硅微机械加工技术和LIGA 工艺制作的线圈之间则采用了三相星形连接方式, 线圈结构为平面型无槽集中 绕组把制作好的定子和转子装配后通以三相方波电流进行驱动, 通过对其输出力 矩和转速的测试证明电机运转良好 : ; ; ; LI GA : T M 38 : A 1 , IC , , , , , , , , , 2 , , ; , ; , 1 , , 18 , , , A BC : : : ( 1973- ) , , , , 转载 中国科技论文在线 2 : 65 ( 6 ) ( ) B ( 2) N 120 ( , 120 ) B , , B ( , 6 , N S ) 3, , , ,